公开(公告)号：CN120064842A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202510263154.8

申请日：2025-03-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 王晓东 ,  肖世裕 ,  王波皓 ,  董昭润 ,  张明亮 ,  陈雪

IPC: G01R31/00 ,  G01R1/04 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本公开提供了一种悬空岛微电机系统热电性能测试器件及制备方法，可以应用于半导体器件技术领域，该热电性能测试器件包括：基底；悬空岛结构，包括第一悬空岛、中心悬空岛、第三悬空岛，第一悬空岛和第二悬空岛关于中心悬空岛对称悬空设置在基底之上；多个第一金属组件，在第一悬空岛、中心悬空岛和第二悬空岛上均设置有一个第一金属组件；其中，在将待测目标放置于第一悬空岛和中心悬空岛之间的情况下，通过第一悬空岛对应的第一金属组件获取第一信号，通过第二悬空岛对应的第二金属组件获取第二信号，对第一信号和第二信号进行差分计算，基于差分计算的结果确定待测目标的热电性能测试结果。