公开(公告)号：CN101901850A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200910085926.4

申请日：2009-05-27

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张爽 ,  赵德刚 ,  刘文宝 ,  孙苋 ,  刘宗顺 ,  张书明 ,  朱建军 ,  王辉 ,  段俐宏 ,  杨辉

IPC: H01L31/11 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种基于氮化镓材料的新型结构紫外双色探测器，包括：一衬底；一N型欧姆接触层，该N型欧姆接触层制作在衬底上；一I型有源层，该I型有源层制作在N型欧姆接触层上面的中间，该I型有源层的面积小于N型欧姆接触层的面积，使N型欧姆接触层的两侧各形成一台面；一P型有源层，该P型有源层制作在I型有源层上；两N型欧姆电极，该两N型欧姆电极分别制作在N型欧姆接触层上面两侧的台面上；一肖特基电极，该肖特基电极制作在P型有源层上。