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公开(公告)号:CN117783001A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311800344.6
申请日:2023-12-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供一种石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法,检测系统包括:石英音叉、谐振结构、驱动设备、检测设备和计算模块;至少一个谐振结构可活动地设于石英音叉的一侧;驱动设备、石英音叉和检测设备依次电连接,且形成检测回路;驱动设备用于输出频率可调的正弦波电压信号,检测设备检测石英音叉在第一状态下输出的第一电压信号以及在第二状态下输出的第二电压信号;计算模块基于第一电压信号和第二电压信号,获取耦合效率;在第一状态下,石英音叉的周侧未设置谐振结构,在第二状态下,谐振结构位于距离石英音叉端部的预设位置处。本发明的检测系统,系统简单,检测过程便捷,可快速、准确获取谐振结构的耦合效率。
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公开(公告)号:CN115184275B
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202210807087.8
申请日:2022-07-06
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于光声谱气体探测的微波检测方法,包括:微波信号发生电路控制信号发射电极产生扫频微波信号,扫频微波信号入射至气室,信号接收电极接收经过气室的微波信号,信号处理电路分别获得信号发射电极和信号接收电极的初始微波信号的特征数据;光源出射加载调制信号的输出光并入射到气室内,气室内的待测气体受到光束激发产生热振动,微波信号发生变化并形成目标微波信号,信号处理电路分别获得信号发射电极和信号接收电极的目标微波信号的特征数据;上位机计算得到待测气体的浓度,利用电磁波对空间折射率敏感的特点实现高灵敏度的探测,同时不受声学谐振腔的体积限制,实现待测气体的小体积长期在线测量。
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公开(公告)号:CN118708856A
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202310253014.3
申请日:2023-03-16
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于多级互相关的信号处理方法。该基于多级互相关的信号处理方法包括:基于两路待处理信号,采集得到多个信号对;其中,每个信号对包括一路长度为N的第一目标信号和一路长度为2N‑1的第二目标信号;其中,N为正整数;针对多个信号对中的每个信号对分别进行多级互相关降噪处理,得到多个第三目标信号;以及对多个第三目标信号进行平均滤波降噪处理,得到第四目标信号。本公开还提供了一种基于多级互相关的信号处理装置、设备、存储介质和程序产品。
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公开(公告)号:CN115184275A
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202210807087.8
申请日:2022-07-06
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于光声谱气体探测的微波检测方法,包括:微波信号发生电路控制信号发射电极产生扫频微波信号,扫频微波信号入射至气室,信号接收电极接收经过气室的微波信号,信号处理电路分别获得信号发射电极和信号接收电极的初始微波信号的特征数据;光源出射加载调制信号的输出光并入射到气室内,气室内的待测气体受到光束激发产生热振动,微波信号发生变化并形成目标微波信号,信号处理电路分别获得信号发射电极和信号接收电极的目标微波信号的特征数据;上位机计算得到待测气体的浓度,利用电磁波对空间折射率敏感的特点实现高灵敏度的探测,同时不受声学谐振腔的体积限制,实现待测气体的小体积长期在线测量。
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公开(公告)号:CN119050805A
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202411148769.8
申请日:2024-08-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了外腔可调谐激光器调谐机构及其波长校正方法,涉及激光技术领域。一种外腔可调谐激光器调谐机构,包括:衍射光栅,用于对平行光束进行衍射,以产生谐振光束;旋转位移台,用于承载所述衍射光栅以及调节所述衍射光栅的角度;平移位移台,用于承载所述旋转位移台以及调节外腔可调谐激光器的外腔光路长度;控制模块,用于基于输入的第一电流信号控制所述旋转位移台以第一步进量进行步进运动,以调节所述衍射光栅的角度;以及根据所述旋转位移台的第一步进量计算所述平移位移台的第二步进量,控制所述平移位移台以所述第二步进量进行步进运动,以调节所述外腔可调谐激光器的外腔光路长度。
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公开(公告)号:CN117664196A
公开(公告)日:2024-03-08
申请号:CN202311363677.7
申请日:2023-10-20
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开一种基于波长调谐的高精细度F‑P型传感器的工作点调控系统,包括:激光器(1),用于产生波长连续变化的原始光;高精细度F‑P型传感器(4),设置在原始光的光路上,用于将原始光转化为探测光;第一光电探测器模块(51),设置在探测光的光路上;第二光电探测器模块(52),设置在原始光的光路上;分析反馈模块,其第一端口连接第一光电探测器模块(51),其第二端口连接第二光电探测器模块(52),用于基于探测电信号检测高精细度F‑P型传感器(4)的工作点,当到达激光器(1)高精细度F‑P型传感器(4)的工作点后,停止激光器(1)的波长扫描,并对激光器(1)的波长进行反馈控制,将工作点控制在预设范围内。
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公开(公告)号:CN116183514A
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN202310361711.0
申请日:2023-04-06
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种光声池及多组分气体检测系统,涉及光声光谱气体检测技术领域,该光声池包括池体;第一腔体,设于所述池体内;缓冲室,设于所述第一腔体的两端,且与所述第一腔体连通;第二腔体,贯穿于所述第一腔体设置,且与所述第一腔体贯通;光学玻璃窗片,安装于所述缓冲室的两端和所述第二腔体的两端,用于为激光光束提供入射口并密封所述缓冲室和所述第二腔体;微音器开孔,设于所述第一腔体或所述第二腔体内。该光声池通过增加入射窗口的数量,解决了单一入射窗口无法实现多光束入射的情况,同时能更高效地放大声压信号,适用于多组分气体检测的环境。
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