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公开(公告)号：CN117783001A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311800344.6
申请日：2023-12-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供一种石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法，检测系统包括：石英音叉、谐振结构、驱动设备、检测设备和计算模块；至少一个谐振结构可活动地设于石英音叉的一侧；驱动设备、石英音叉和检测设备依次电连接，且形成检测回路；驱动设备用于输出频率可调的正弦波电压信号，检测设备检测石英音叉在第一状态下输出的第一电压信号以及在第二状态下输出的第二电压信号；计算模块基于第一电压信号和第二电压信号，获取耦合效率；在第一状态下，石英音叉的周侧未设置谐振结构，在第二状态下，谐振结构位于距离石英音叉端部的预设位置处。本发明的检测系统，系统简单，检测过程便捷，可快速、准确获取谐振结构的耦合效率。
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公开(公告)号：CN101915748B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201010235874.7
申请日：2010-07-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明公开了一种激光气体浓度检测的拟合动态寻峰方法，包括：控制器将特定波长激光器的工作温度调节到某一合适值，并为特定波长激光器线性增加偏置电流，同时接收光电探测器传递过来的电流信号得到光电流原始曲线；控制器判断吸收峰是否在光电流原始曲线的中间，如果吸收峰不在曲线的中间，就返回继续进行温度调节；否则，通过对光电流原始曲线进行二次差值分析得到二次差值曲线，并选择合适的拟合点，拟合出参考曲线；控制器将参考曲线与原始曲线相比得到归一化吸收峰曲线，通过对归一化吸收峰曲线最大值的计算得到气体浓度。利用本发明，可以实时动态的找到待测气体的吸收峰的位置，该找吸收峰的方法实时性强，找峰准确。利用二次差值分析和曲线拟合得到的归一化吸收峰曲线，消除了系统噪声和波长慢漂的影响，用该归一化吸收峰曲线推导出的待测气体浓度值更准确。
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公开(公告)号：CN101915748A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010235874.7
申请日：2010-07-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明公开了一种激光气体浓度检测的拟合动态寻峰方法，包括：控制器将特定波长激光器的工作温度调节到某一合适值，并为特定波长激光器线性增加偏置电流，同时接收光电探测器传递过来的电流信号得到光电流原始曲线；控制器判断吸收峰是否在光电流原始曲线的中间，如果吸收峰不在曲线的中间，就返回继续进行温度调节；否则，通过对光电流原始曲线进行二次差值分析得到二次差值曲线，并选择合适的拟合点，拟合出参考曲线；控制器将参考曲线与原始曲线相比得到归一化吸收峰曲线，通过对归一化吸收峰曲线最大值的计算得到气体浓度。利用本发明，可以实时动态的找到待测气体的吸收峰的位置，该找吸收峰的方法实时性强，找峰准确。利用二次差值分析和曲线拟合得到的归一化吸收峰曲线，消除了系统噪声和波长慢漂的影响，用该归一化吸收峰曲线推导出的待测气体浓度值更准确。
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公开(公告)号：CN101718894A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910241684.3
申请日：2009-12-02
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G02B6/35
Abstract: 一种基于光纤阵列的同步2×2机械式光开关，包括：一第一光纤阵列基座；沿圆周方向上均匀分布有12个与柱面垂直的光纤通道；每个通道的顶部固定一个光纤头，其一端露出第一光纤阵列基座的表面；一耦合基座；沿圆周方向上均匀分布12个通孔，所述光纤头露出的部分插入耦合基座的通孔；一第二光纤阵列基座，沿圆周方向上均匀分布有12个与柱面垂直的光纤通道，每个通道的顶部固定一个光纤头，该光纤头的一端露出第二光纤阵列基座的表面，所述光纤头露出的部分插入耦合基座的通孔；一柱形轴，所述第一光纤阵列基座、耦合基座和第二光纤阵列基座均套接在柱形轴上；第一光纤阵列基座和耦合基座插合后与柱形轴固定；第二光纤阵列基座是沿柱形轴的纵向滑动，或绕轴在30度范围内往复转动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102062722B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910237838.1
申请日：2009-11-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种激光程控气体浓度检测系统，包括：一程序控制处理器；一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯；一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置；一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中，另一端与程控电流源连接；一光电探测器安装在柱形气室的另一端；一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号，该微电流检测计与程序控制处理器通讯；一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上，该信号发生器与程序控制处理器通讯；一锁相放大器采集光电探测计上的信号，该锁相放大器与程序控制器通讯。
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公开(公告)号：CN102062956A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200910237842.8
申请日：2009-11-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G02F1/03
Abstract: 一种窄带宽的可调谐光滤波器，包括：一光纤FP腔可调谐光滤波器，其第一光端口通过光纤与第一光纤耦合器的第一光端口连接，该第一光纤耦合器的另两个端口分别为参考光输入端和信号光输出端，参考光输入端与光纤连接，信号光输出端与光纤连接；一第二光纤耦合器，其第一光端口为信号光输入端，与光纤连接；其第二光端口通过光纤与光探测器的输入端连接，该光探测器将参考光转化为电信号，并通过第一电通道将电信号传送至控制电路；该第二光纤耦合器的第三光端口通过光纤与光纤FP腔可调谐光滤波器的第二光端口连接；一控制电路，该控制电路输出一个控制信号，通过第二电通道将控制信号加载在光纤FP腔可调谐光滤波器的一电极上。
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公开(公告)号：CN102062722A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200910237838.1
申请日：2009-11-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种激光程控气体浓度检测系统，包括：一程序控制处理器；一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯；一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置；一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中，另一端与程控电流源连接；一光电探测器安装在柱形气室的另一端；一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号，该微电流检测计与程序控制处理器通讯；一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上，该信号发生器与程序控制处理器通讯；一锁相放大器采集光电探测计上的信号，该锁相放大器与程序控制器通讯。
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公开(公告)号：CN101718894B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910241684.3
申请日：2009-12-02
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G02B6/35
Abstract: 一种基于光纤列阵的同步2×2机械式光开关，包括：一第一光纤阵列基座；沿圆周方向上均匀分布有12个与柱面垂直的光纤通道；每个通道的顶部固定一个光纤头，其一端露出第一光纤阵列基座的表面；一耦合基座；沿圆周方向上均匀分布12个通孔，所述光纤头露出的部分插入耦合基座的通孔；一第二光纤阵列基座，沿圆周方向上均匀分布有12个与柱面垂直的光纤通道，每个通道的顶部固定一个光纤头，该光纤头的一端露出第二光纤阵列基座的表面，所述光纤头露出的部分插入耦合基座的通孔；一柱形轴，所述第一光纤阵列基座、耦合基座和第二光纤阵列基座均套接在柱形轴上；第一光纤阵列基座和耦合基座插合后与柱形轴固定；第二光纤阵列基座是沿柱形轴的纵向滑动，或绕轴在30度范围内往复转动。
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