公开(公告)号：CN1053596C

公开(公告)日：2000-06-21

申请号：CN96104510.8

申请日：1996-04-11

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 闻瑞梅 ,  刘任重 ,  邓礼生 ,  梁骏吾

IPC: B01D53/46

Abstract: 本发明公开了一种处理半导体工艺中产生的含砷及砷化合物的废气的方法。首先去除废气中的油蒸汽，然后用KIO3、KI和H2SO4混合溶液对废气进行鼓泡、逆向喷淋处理，再分别用CuSO4、H2SO4混合溶液、KMnO4、NaOH混合溶液对废气进行逆向喷淋处理。并采取过压保护及报警措施以便在气路堵塞时处理气体。该方法对废气中有毒成份去除效率高，并消除了砷烷自爆的可能，使用更安全。

公开(公告)号：CN1139588A

公开(公告)日：1997-01-08

申请号：CN96104510.8

申请日：1996-04-11

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 闻瑞梅 ,  刘任重 ,  邓礼生 ,  梁骏吾

IPC: B01D53/46

Abstract: 本发明公开了一种处理半导体工艺中产生的含砷及砷化合物的废气的方法。首先去除废气中的油蒸汽，然后用KIO3、KI和H2SO4混合溶液对废气进行鼓泡、逆向喷淋处理，再分别用CuSO4、H2SO4混合溶液、KMnO4、NaOH混合溶液对废气进行逆向喷淋处理。并采取过压保护及报警措施以便在气路堵塞时处理气体。该方法对废气中有毒成分去除效率高，并消除了砷烷自爆的可能，使用更安全。

公开(公告)号：CN2277834Y

公开(公告)日：1998-04-08

申请号：CN96222517.7

申请日：1996-09-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 闻瑞梅 ,  邓礼生 ,  刘任重 ,  梁骏吾

IPC: B08B15/04

Abstract: 本实用新型公开了一种适用于半导体材料制备中清除有毒的砷、磷粉末的粉尘清除器,包括粉尘导管、法兰盘、孔板、过滤室、袋状过滤膜、出口导管和离心式抽风机。含有粉尘的气体在离心式抽风机的作用下,通过粉尘导管和孔板进入袋状过滤膜的袋口,再从过滤膜穿过,从而使粉尘吸着在过滤膜上。它能有效地清除半导体单晶炉中的砷、磷粉末,且过滤膜便于更换。