公开(公告)号：CN103499318A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310495022.5

申请日：2013-10-21

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 顾伟 ,  伍凡 ,  侯溪 ,  万勇建 ,  李世芳 ,  宋伟红 ,  赵文川

IPC: G01B13/24 ,  G01B13/16

Abstract: 本发明公开一种光学元件自重变形量的测定方法，获取被测光学元件在全重力作用状态下的面形数据，标定干涉仪和标准镜组成的系统的误差；保持干涉仪的参数及位置不变，使被测光学元件没入不同深度的重液，获得被测光学元件的被测面在不同重力作用下的面形数据；对10个面形数据中相同坐标的数据点分别采用最小二乘法拟合，得到并令相应的拟合曲线方程中被测光学元件浸没重液的深度等于被测光学元件漂浮状态时浸入重液的总深度，获取被测光学元件的真实面形在各坐标处的数据值；根据数据值恢复被测光学元件的真实面形信息；由全重力的面形数据与真实面形数据相减，获得被测光学元件由于自重导致的变形量。

公开(公告)号：CN103499318B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201310495022.5

申请日：2013-10-21

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 顾伟 ,  伍凡 ,  侯溪 ,  万勇建 ,  李世芳 ,  宋伟红 ,  赵文川

IPC: G01B13/24 ,  G01B13/16

Abstract: 本发明公开一种光学元件自重变形量的测定方法，获取被测光学元件在全重力作用状态下的面形数据，标定干涉仪和标准镜组成的系统的误差；保持干涉仪的参数及位置不变，使被测光学元件没入不同深度的重液，获得被测光学元件的被测面在不同重力作用下的面形数据；对10个面形数据中相同坐标的数据点分别采用最小二乘法拟合，得到并令相应的拟合曲线方程中被测光学元件浸没重液的深度等于被测光学元件漂浮状态时浸入重液的总深度，获取被测光学元件的真实面形在各坐标处的数据值；根据数据值恢复被测光学元件的真实面形信息；由全重力的面形数据与真实面形数据相减，获得被测光学元件由于自重导致的变形量。