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公开(公告)号：CN101063810B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200710099701.5
申请日：2007-05-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/00
Abstract: 紫外光照微纳图形气压压印和光刻两用复制装置，包括主机大基板、压模移动台系统、均匀照明系统、压模架、压模、基片、对准系统、基片升降系统、承片调平台系统、花样镜、压镜和控制系统，在主机大基板上固定有压模移动台系统和在其内部的承片调平台系统，XY压模移动台上支撑有压模架和花样镜或压镜，吸附着压模或掩模，基片或硅片被吸附于承片调平台系统上，均匀照明系统位于压模的上方，对准系统连接在均匀照明系统的一侧，工作台系统和均匀照明系统的探测输出信号送至控制系统进行处理，用于控制。本发明具有微纳图形气压压印和光刻两方面的功能，且操作使用方便。
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公开(公告)号：CN101520543B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910009374.9
申请日：2005-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 深紫外投影光刻物镜，包括外层的恒温密封外套、中间层和内层结构，中间层为镜筒，由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成，内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件和分辨力增强组件，十个光学透镜元件和一个分辨力增强组件组成的光学系统为双远心系统，分辨力增强组件将十个光学透镜元件分为前后二组物镜，前组物镜由第一至第四透镜组成，后组物镜由第五至第十透镜组成，分辨力增强组件的光栏面既是前组物镜的像方焦面，也是后组物镜的物方焦面，同时也是光学系统的光瞳面。本发明具有分辨力增强能力，克服了现有投影光刻物镜光刻分辨力只能实现传统光学极限分辨力的不足，同时还具有结构简单、成本低、光学缩小倍率大、大幅降低制作超微细掩模难度的特点，使之能制作更高分辨力微细图形。
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公开(公告)号：CN1782695B
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200410009920.6
申请日：2004-12-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 反射式周期性微纳结构的带隙特性测量装置，由激光器(1)、反射镜(2)、聚焦准直系统(3)、偏振器(4)、反射镜(5)、反射镜(13)、探测光纤(10)、光功率计(9)、计算机(8)及样品台(7)组成，激光器(1)发出的激光依次经过第一反射镜(2)反射、聚焦准直系统(3)聚焦准直，并经偏振器(4)检偏后形成一束均匀的平面波，再被第二反射镜(5)和第三反射镜(13)反射后，该平面波(12)倾斜入射到被测样品(6)表面上，探测光纤(10)直接靠近样品表面探测，探测的反射光谱信号(11)进入光功率计(9)测试后转换成电信号，输入计算机(8)进行处理得到带隙结构。
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公开(公告)号：CN1963434B
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200610165086.9
申请日：2006-12-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 光纤变换引入中心对称材料微纳结构倍频转换率测试装置由激光器、聚焦镜、光纤光束变换系统、对准显微镜、承载样品台、水平旋转台、多自由度调整台、倍频光滤光片、激光功率计和大平台组成，激光器射出的激光通过聚焦镜和变换光纤，由对准显微镜观察经水平旋转台和多自由度调整台调整对准射入被测样品，经被测样品倍频后的倍频光，被激光功率计接收并测量显示出倍频光的光强值，再与未放置被测样品和出射光滤光片时检测的光强值相比，可得到倍频转换效率。被测样品的位置由多自由度调整台和水平旋转台迅速调整，调整方便，易于应用。
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公开(公告)号：CN100582745C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200710099494.3
申请日：2007-05-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 单面刻槽表面等离子体生化传感器，由照明器、传光光纤、传感检测箱、照明光束整理系统、被测样品、纳米光栅基片、检测光学系统、单色仪、光电倍增管、数码转换器和计算机等部分组成，被测样品涂放于纳米光栅基片上，由照明器传光光纤射入传感检测箱的照明光，经照明光束整理系统整理照明被测样品，涂放有被测样品的纳米光栅基片产生了表面等离子体共振和局域化表面等离子体共振(LSPR)，其反射光通过检测光学系统和单色仪检测由光电倍增管接收转换为放大的电信号，再转换为数字信号后送入计算机，检测出生化样品的种类。该传感器传感灵感度高，结构简单、调整使用方便，易于应用推广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100567931C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200610114281.9
申请日：2006-11-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 中心对称材料微纳结构器件倍频转换效率测试装置，由激光器、准直扩束系统、偏振片、入射光栏、对准显微镜、承品台、水平角旋转台、多维调整台、倍频光滤光片、遮挡罩、激光功率计和大底台组成，激光器射出的激光通过准直扩束系统、偏振片和入射光栏，由对准显微镜观察经水平角旋转台和多维调整台调整对准射入被测样品，经被测样品倍频后的倍频光，被激光功率计接收并测量显示出倍频光的光强值，再与未放置被测样品和滤光片时检测的光强值相比，可得到倍频转换效率。被测样品的位置由多维调整台和水平角旋转台迅速调整，调整方便，测量精度高，易于应用推广。
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公开(公告)号：CN100547447C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200510011330.1
申请日：2005-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 深紫外投影光刻物镜，包括外层的恒温密封外套、中间层和内层结构，中间层为镜筒，由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成，内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件，十个光学透镜元件组成的光学系统为双远心系统，在内层的十个光学透镜元件之间设有分辨力增强组件，分辨力增强组件将十个光学透镜元件分为前后二组物镜，前组物镜由第一至第四透镜组成，后组物镜由第五至第十透镜组成，分辨力增强组件的光栏面既是前组物镜的像方焦面，也是后组物镜的物方焦面，同时也是光学系统的光瞳面。本发明具有分辨力增强能力，克服了现有投影光刻物镜光刻分辨力只能实现传统光学极限分辨力的不足，同时还具有结构简单、成本低、光学缩小倍率大、大幅降低制作超微细掩模难度的特点，使之能制作更高分辨力微细图形。
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公开(公告)号：CN101520543A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910009374.9
申请日：2005-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 深紫外投影光刻物镜，包括外层的恒温密封外套、中间层和内层结构，中间层为镜筒，由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成，内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件，十个光学透镜元件组成的光学系统为双远心系统，在内层的十个光学透镜元件之间设有分辨力增强组件，分辨力增强组件将十个光学透镜元件分为前后二组物镜，前组物镜由第一至第四透镜组成，后组物镜由第五至第十透镜组成，分辨力增强组件的光栏面既是前组物镜的像方焦面，也是后组物镜的物方焦面，同时也是光学系统的光瞳面。本发明具有分辨力增强能力，克服了现有投影光刻物镜光刻分辨力只能实现传统光学极限分辨力的不足，同时还具有结构简单、成本低、光学缩小倍率大、大幅降低制作超微细掩模难度的特点，使之能制作更高分辨力微细图形。
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公开(公告)号：CN101386984A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200810223525.6
申请日：2008-10-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料，其特征在于：选择石英基片并将表面抛光，在其表面蒸镀SiO2膜；在SiO2膜表面蒸镀铬膜，在铬膜上涂覆光刻胶层；采用电子束光刻方法，在光刻胶上制备介质光栅结构；采用湿法腐蚀技术，将光刻胶作为掩模，腐蚀裸露铬膜；采用干法腐蚀技术，将铬膜作掩模，在SiO2膜上刻蚀介质光栅结构，去除铬膜；采用侧向真空沉积技术，在SiO2光栅结构一侧侧向沉积厚度h金属层；同样在SiO2光栅结构另一侧沉积相同厚度的金属层，形成顶部厚度2h，侧壁宽度h的“Π”形金属结构，基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料制作完成。本发明具有制作简便，单层损耗小，单层正入射以及双频的特性，在磁共振、近场光学、隐身材料等领域具有启示的意义以及很大的应用前景。
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公开(公告)号：CN100403605C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200410009235.3
申请日：2004-06-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H01S3/109
Abstract: 连续光束线性材料光子晶体倍频器，由光波入射口(1)、出射口(4)、金属外壳(2)、内部晶体(3)和基板(5)组成，其特征在于：内部晶体(3)由圆形空气孔光子晶体(6)、空气波导(10)、光栅(7)、圆形介质柱(9)、圆形介质柱光子晶体(8)组成，空气孔光子晶体(6)和介质柱光子晶体(8)具有不同的带隙结构，空气波导(10)的内侧有周期一致的光栅(7)，空气波导(10)之间有圆形介质柱(9)隔开，光栅(7)、圆形介质柱(9)、圆形介质柱光子晶体(8)以及基底材料(11)均为同一种非磁性线性材料，入射波和出射波均为连续激光。本发明利用线性材料的电四极极化效应在光子晶体中有显著增强来实现激光倍频，结构设计灵活，可以实现很宽波段的波长转换，制作工艺简单、适用范围广、损耗低、转换效率高、容易在微系统中集成。
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