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公开(公告)号：CN104328378A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410614079.7
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化硅(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N2)环境中蒸发Cr形成CrNx，在氧气(O2)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。
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公开(公告)号：CN103233201B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310161118.8
申请日：2013-05-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下运动，与氮气发生作用生成透明、牢固的SiOxNy保护膜层。本发明提供一种为大型主镜自上向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，具有结构简单、成本低、应用广泛的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118226461A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410408110.5
申请日：2024-04-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于微楔板的信标光与目标共传感器实时成像光路，用于对信标光和目标的共基准探测。成像光路由前置系统、分光镜、角锥回射器、微楔板、滤光片、成像镜组、传感器构成，利用该光路对目标光和信标光的分离特性实现对信标光信号和目标光信号的无互扰探测。
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公开(公告)号：CN103233201A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310161118.8
申请日：2013-05-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于：装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下运动，与氮气发生作用生成透明、牢固的SiOxNy保护膜层。本发明提供一种为大型主镜自上向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，具有结构简单、成本低、应用广泛的优点。
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公开(公告)号：CN104328378B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410614079.7
申请日：2014-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化硅(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N2)环境中蒸发Cr形成CrNx，在氧气(O2)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。
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