公开(公告)号：CN114217451B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202111514959.3

申请日：2021-12-10

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  袁理 ,  孔维杰 ,  刘玲 ,  刘凯鹏 ,  高平

IPC: G02B27/28 ,  G02B27/00 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明提供一种透镜系统，涉及光学测量仪器技术领域。该透镜系统设置于椭偏仪上，包括：会聚镜组和恢复镜组，其中，椭偏仪具有发射测量臂和接收测量臂，会聚镜组设置于发射测量臂的输出光路上，恢复镜组设置于接收测量臂的输入光路上；发射测量臂用于产生入射平行光束，会聚镜组用于将入射平行光束会聚，会聚后的光束经过被测样品反射后形成发散光束，恢复镜组用于将发散光束恢复为出射平行光束，接收测量臂用于接收出射平行光束。本发明可在300nm～700nm光谱范围内、在±1.8度视场范围内，将椭偏仪测量光束的直径减小到0.015mm～0.05mm，从而提高测量分辨率。

公开(公告)号：CN114217451A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202111514959.3

申请日：2021-12-10

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  袁理 ,  孔维杰 ,  刘玲 ,  刘凯鹏 ,  高平

IPC: G02B27/28 ,  G02B27/00 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明提供一种透镜系统，涉及光学测量仪器技术领域。该透镜系统设置于椭偏仪上，包括：会聚镜组和恢复镜组，其中，椭偏仪具有发射测量臂和接收测量臂，会聚镜组设置于发射测量臂的输出光路上，恢复镜组设置于接收测量臂的输入光路上；发射测量臂用于产生入射平行光束，会聚镜组用于将入射平行光束会聚，会聚后的光束经过被测样品反射后形成发散光束，恢复镜组用于将发散光束恢复为出射平行光束，接收测量臂用于接收出射平行光束。本发明可在300nm～700nm光谱范围内、在±1.8度视场范围内，将椭偏仪测量光束的直径减小到0.015mm～0.05mm，从而提高测量分辨率。