公开(公告)号：CN119881490A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510034938.3

申请日：2025-01-09

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  李成文利 ,  刘明刚 ,  孙云卿 ,  张一娇 ,  武智朋

IPC: G01R31/00 ,  G06F18/2433 ,  G06F18/27

Abstract: 本公开提供了一种台阶信号的检测方法及系统，该方法包括：S1，分别对第一测试条件、第二测试条件进行稳定性测试，测试通过则进入下一步；其中，第一测试条件的噪声小于第二测试条件的噪声；S2，根据稳定性测试的结果，进行计算得到标定值；S3，在第二测试条件下进行台阶检测，得到第一检测数据，进而得到拟合函数；S4，根据标定值和拟合函数进行数据筛选，确定异常数据；S5，对异常数据进行回归估计得到回归值，用回归值替代异常数据，得到第二检测数据；S6，对第二检测数据进行台阶特征提取，得到第三检测数据；S7，根据第三检测数据进行计算得到多个台阶高度，进而得到目标台阶信号。该方法具有普适性好、台阶明显、杂点少、无错层等优点。

公开(公告)号：CN118393826A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410827569.9

申请日：2024-06-25

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  孙云卿 ,  刘明刚 ,  王强 ,  张一娇 ,  李成文利 ,  武智朋

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开提供一种高阶套刻误差矫正系统、方法、光刻系统及光刻方法，高阶套刻误差矫正系统包括：非接触式加热单元，被配置为基于光功率投影图案，对晶圆的待矫正区域进行投影式加热，使晶圆发生形变以矫正套刻误差；对准单元，被配置为测量待矫正区域的套刻误差，基于套刻误差确定矫正套刻误差所需的温度场载荷，基于温度场载荷确定光功率投影图案；工件台，被配置为承载晶圆。该高阶套刻误差矫正系统通过非接触式加热单元对晶圆的待矫正区域进行投影式加热，结构简单，避免了接触式加热方式晶圆卡盘设计加工难度大的问题，有利于实现高阶套刻误差的矫正。

公开(公告)号：CN117420726A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202311470184.3

申请日：2023-11-06

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  刘明刚 ,  李成文利 ,  孙云卿 ,  武智朋 ,  陈小安 ,  王长涛

IPC: G03F1/72

Abstract: 本公开提供了一种形变矫正装置，包括：双层铰链结构，上下叠置，每层铰链结构均包括十六路矫正单元，对称的设置在四个方位，用于控制掩模的形变；导流结构，设于双层铰链结构下方，中间区域预留掩模的安装区域，当气流吹向导流结构时，导流结构将气流引向四周。该装置采用双层共三十二路铰链结构实现掩模形变的矫正，增加了矫正单元密度，提高了矫正精度。该装置设计导流结构引导气流分散，气流并不直接作用在铰链上，使气流对掩模版的影响在一定时间内衰减，降低掩模版受气流产生的流致振动。

公开(公告)号：CN117276179A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311327254.X

申请日：2023-10-13

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  武智朋 ,  刘明刚 ,  王长涛

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/68

Abstract: 本公开提供一种基于柔性铰链的六自由度微动台，自下而上依次包括：粗旋转运动台，包括轴承，用于实现大行程范围内的旋转；垂向运动台，包括三个垂向电机、电机连接主板、支撑铰链和基板，用于实现垂向三自由度运动；其中，垂向电机的驱动杆通过支撑铰链将电机连接主板与基板相连，支撑铰链为具有圆弧形截面的柔性铰链，以增加水平向的刚度；水平向运动台，包括三个水平向电机，运动部分，三组单向铰链和转接板，用于实现水平向三自由度运动；其中，运动部分由内到外分为三层结构，每层结构配置一个水平向电机和一组单向铰链，单向铰链为具有矩形截面的柔性铰链，以增加水平向电机行程垂直方向的刚度；承片台，与转接板连接，用于承载基片。