Patent search ap:("中国科学院上海技术物理研究所") AND inv:"钱大憨" Page 1

1.

发明公开
一种以碲镉汞为基底的薄膜附着力定量测试方法无效

公开(公告)号：CN102543791A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201210019073.6

申请日：2012-01-20

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 贾嘉 , 钱大憨 , 汤亦聃 , 乔辉 , 李向阳

IPC: H01L21/66 , G01N19/04

Abstract: 本发明公开了一种以碲镉汞为基底的薄膜附着力定量测试方法：(1)光刻图形：用光刻的方法在碲镉汞基底上的薄膜表面形成方格图形；(2)形成方格：用刻蚀或浮胶的方法将薄膜分割形成若干方格；(3)粘贴胶带：将胶带粘在薄膜上，并施以一定的正压力；(4)剥离薄膜：将胶带折起沿与薄膜平行的方向，以恒定的速度施加拉力；(5)计算百分比：用最终薄膜表面方格的脱落百分比来定量评价以碲镉汞为基底的薄膜附着力。该方法具有操作方便、数据直观、成本低和非破坏性等优点，并且能对正式的碲镉汞样品进行在线检测。

Patent Agency Ranking