公开(公告)号：CN116404063A

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202310325811.8

申请日：2023-03-30

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王林 ,  张凯旋 ,  张力波 ,  姜梦杰 ,  陈效双

IPC: H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0336 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02 ,  H01L23/66

Abstract: 本发明公开了一种蝶形天线集成的拓扑半金属太赫兹探测器及制备方法。器件制备步骤主要通过机械剥离、紫外光刻、热蒸发镀膜、定点转移和超声引线等工艺形成蝶形天线集成的拓扑半金属太赫兹探测器。器件结构自下而上依次为：第一层是本征硅衬底、第二层是氧化物层、第三层是拓扑半金属硒碲镍和蝶形天线电极、第四层是拓扑半金属石墨烯。通过集成蝶形天线并构筑拓扑半金属垂直异质结方式构成的太赫兹探测器，可以调节拓扑半金属材料量子态的拓扑特征，并借助蝶形天线达到聚焦太赫兹光场和提高材料光吸收的目的，最终实现室温下太赫兹探测和成像功能。本发明的优点是探测器的响应速度快、室温下自驱动工作、噪声等效功率小和便于集成。

公开(公告)号：CN113049096A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110265603.4

申请日：2021-03-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王林 ,  张力波 ,  沈家忠 ,  邢怀中 ,  陈效双 ,  陆卫

IPC: G01J1/42 ,  H01L31/115

Abstract: 本发明公开了一种室温周期对数天线集成的碲化镍太赫兹探测器及制备`方法。器件制备步骤是将机械剥离的碲化镍转移到本征高阻硅衬底上，利用紫外光刻技术制作源、漏电极，并利用电子束蒸发和超声引线等工艺，制备成具有周期对数天线结构的碲化镍探测器。通过构造具有周期对数的金属结构天线，诱导表面等离子体共振，将太赫兹入射光子耦合到碲化镍表面，增强入射电磁波与材料的相互作用，实现室温高灵敏的太赫兹宽谱吸收，从而显著增强了探测器的源漏电流，大幅提高了器件的信噪比和探测能力。基于碲化镍的探测器在太赫兹波段体现了很高的灵敏度。本发明的优点是响应率高，响应快，功耗低和便于集成化。