公开(公告)号：CN116169189A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202111412778.X

申请日：2021-11-25

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王林 ,  沈家忠 ,  姚晨禹 ,  姜梦杰 ,  陈效双

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/028 ,  H01L31/032 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  H01Q1/22 ,  G01J1/42 ,  G02B5/00

Abstract: 本发明公开了一种碲化镍‑石墨烯异质结构太赫兹探测器及制备方法。器件制备步骤是将机械剥离的碲化镍和石墨烯分别转移到本征高阻硅衬底上形成异质结，利用紫外光刻技术制作源、漏电极，并利用电子束蒸发和超声引线等工艺，制备成具有周期对数天线结构的碲化镍‑石墨烯异质结构探测器。通过构造具有周期对数的金属结构天线，诱导表面等离子体共振，将太赫兹入射光子耦合到异质结表面，增强入射电磁波与材料的相互作用，实现室温高灵敏的太赫兹宽谱吸收，同时利用二维材料异质结抑制器件暗电流，从而显著增强了探测器的源漏电流，大幅提高了器件的响应率和降低了等效噪声功率。本发明的优点是高响应率，快速响应，低噪声和方便集成化。

公开(公告)号：CN113049096A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110265603.4

申请日：2021-03-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王林 ,  张力波 ,  沈家忠 ,  邢怀中 ,  陈效双 ,  陆卫

IPC: G01J1/42 ,  H01L31/115

Abstract: 本发明公开了一种室温周期对数天线集成的碲化镍太赫兹探测器及制备`方法。器件制备步骤是将机械剥离的碲化镍转移到本征高阻硅衬底上，利用紫外光刻技术制作源、漏电极，并利用电子束蒸发和超声引线等工艺，制备成具有周期对数天线结构的碲化镍探测器。通过构造具有周期对数的金属结构天线，诱导表面等离子体共振，将太赫兹入射光子耦合到碲化镍表面，增强入射电磁波与材料的相互作用，实现室温高灵敏的太赫兹宽谱吸收，从而显著增强了探测器的源漏电流，大幅提高了器件的信噪比和探测能力。基于碲化镍的探测器在太赫兹波段体现了很高的灵敏度。本发明的优点是响应率高，响应快，功耗低和便于集成化。