公开(公告)号：CN104332510A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410546873.2

申请日：2014-10-16

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李倩 ,  李志锋 ,  陆卫 ,  陈效双 ,  李宁 ,  陈平平 ,  李天信 ,  王文娟 ,  甄红楼 ,  王少伟 ,  景友亮 ,  廖开升

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/0216

CPC classification number: H01L31/02327 ,  H01L31/02161

Abstract: 本发明公开了一种提升光电探测器响应率的亚波长等离激元微腔耦合结构，通过等离激元微腔对入射光的传播方向和光场分布进行调制，使入射光被限制在微腔中传播，减小了光的逃逸，提高了光子的利用率。入射光场被集聚在微腔中使得强度得到极大的增强，通过在微腔中夹持光电转换材料能够形成高响应率的光电探测器。该耦合结构由上层周期性金属条块形成的金属光栅层、光电转换激活层和下层金属反射层组成。本发明的优点是：利用上层金属光栅与下层金属反射层之间等离激元共振所形成的电磁波近场耦合微腔的模式选择效应，使得进入到微腔的光子沿横向传播并形成驻波，既集聚了光场能量又增加了等效光吸收的长度，使得探测器响应率得到极大地提升。

公开(公告)号：CN104183658A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410403444.X

申请日：2014-08-15

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李宁 ,  李梁 ,  廖开升 ,  景友亮 ,  李志锋 ,  甄红楼 ,  周孝好 ,  王文娟 ,  陆卫

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/101

CPC classification number: H01L31/101 ,  H01L31/035236

Abstract: 本发明公开了一种势垒级联量子阱红外探测器，它由一化合物半导体材料衬底，在衬底上交替生长七个宽度不一势垒层和量子阱层，并以此为一个周期，重复生长多个周期的多量子阱组成。由于本发明采用了级联隧穿结构，在低温状态下，在红外光的辐照下，它可以在量子阱区域形成比目前提出的量子阱红外探测器更强的光电信号，从而更加适用于量子阱红外焦平面器件用。

公开(公告)号：CN204332979U

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201420597469.3

申请日：2014-10-16

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李倩 ,  李志锋 ,  陆卫 ,  陈效双 ,  李宁 ,  陈平平 ,  李天信 ,  王文娟 ,  甄红楼 ,  王少伟 ,  景友亮 ,  廖开升

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/0216

Abstract: 本实用新型公开了一种亚波长等离激元微腔光耦合结构，通过等离激元微腔对入射光的传播方向和光场分布进行调制，使入射光被限制在微腔中传播，减小了光的逃逸，提高了光子的利用率。入射光场被集聚在微腔中使得强度得到极大的增强，通过在微腔中夹持光电转换材料能够形成高响应率的光电探测器。该耦合结构由上层周期性金属条块形成的金属光栅层、光电转换激活层和下层金属反射层组成。本实用新型的优点是：利用上层金属光栅与下层金属反射层之间等离激元共振所形成的电磁波近场耦合微腔的模式选择效应，使得进入到微腔的光子沿横向传播并形成驻波，既集聚了光场能量又增加了等效光吸收的长度，使得探测器响应率得到极大地提升。

公开(公告)号：CN204230260U

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201420462905.6

申请日：2014-08-15

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李宁 ,  李梁 ,  廖开升 ,  景友亮 ,  李志锋 ,  甄红楼 ,  周孝好 ,  王文娟 ,  陆卫

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/101

Abstract: 本实用新型公开了一种势垒级联量子阱红外探测器，它由一化合物半导体材料衬底，在衬底上交替生长七个宽度不一势垒层和量子阱层，并以此为一个周期，重复生长多个周期的多量子阱组成。由于本专利采用了级联隧穿结构，在低温状态下，在红外光的辐照下，它可以在量子阱区域形成比目前提出的量子阱红外探测器更强的光电信号，从而更加适用于量子阱红外焦平面器件用。