公开(公告)号：CN119715685A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411907615.2

申请日：2024-12-24

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李天信 ,  程悦 ,  辛蕊 ,  张帅君 ,  夏辉 ,  邓伟杰 ,  刘伟伟 ,  毛飞宇

IPC: G01N27/00 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/40

Abstract: 一种测定薄膜功函数的方法。步骤是：A使用标准试样对开尔文探针力显微镜测量表面电势进行标定；B在待测薄膜上加工隔离槽，分隔待测区域与周边的薄膜区域；C对隔离出的待测区域进行减薄，消除表面氧化和吸附对测量的影响；D使用开尔文探针力显微镜测量薄膜待测区域相对导电针尖的电势；E根据开尔文探针力显微镜在标准试样和待测薄膜上测得的相对电势，计算出薄膜的功函数，即待测薄膜的功函数等于标准试样的已知功函数加上开尔文探针力显微镜在标准试样和待测试样上测得的相对电势之差。本发明排除金属或合金表面氧化及吸附效应的影响，获得真实、高精度的功函数值；可以提供纳米级的空间分辨率和定位能力，适用于对薄膜进行原位的测量。

公开(公告)号：CN117317045A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311085989.6

申请日：2023-08-28

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李天信 ,  刘伟伟 ,  姜新洋 ,  辛蕊 ,  程悦 ,  夏辉

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/09

Abstract: 本发明公开了一种自耦合微腔增强的高信噪比红外探测器，其特征是探测器的上电极层、红外吸收层和下电极层经制备形成亚波长的微柱周期阵列结构。该探测器的特点是利用红外探测材料自身的介电光学特性，将探测材料设计制备成具有导模共振效应的介质谐振微腔及其光子晶格结构，在体积大幅减少的吸收材料中实现高效率红外光耦合和吸收增强的一体化。因此该探测器结构能够在减少入射光的反射损失、增强吸收的同时，降低器件的暗电流，尤其适用于长波和甚长波红外波段的高信噪比探测。