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公开(公告)号：CN107309146B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201710481704.9
申请日：2017-06-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微纳结构薄膜的制备方法及应用，采用喷枪喷涂方式制备获得所述微纳结构薄膜，该方法为气压式雾化喷涂或者静电喷涂的方式，将待喷涂材料的预聚液均匀喷涂覆盖于基底一侧，再通过一定时间的加热固化后，涂覆有材料的一侧会形成带有微纳结构薄膜的材料，该材料不仅拥有极大的比表面积，同时与基底材料连接紧密，不易脱落。该方法不仅步骤简单，同时成本低廉，对设备的要求不高，适合大面积、大批量、规模化制备。可以制备的薄膜包括蚕丝蛋白、聚二甲基硅氧烷、聚四氟乙烯等摩擦材料以及电极材料，并能显著提高纳米发电机、自发电压力传感器等基于摩擦发电原理产品的性能。
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公开(公告)号：CN107309146A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710481704.9
申请日：2017-06-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微纳结构薄膜的制备方法及应用，采用喷枪喷涂方式制备获得所述微纳结构薄膜，该方法为气压式雾化喷涂或者静电喷涂的方式，将待喷涂材料的预聚液均匀喷涂覆盖于基底一侧，再通过一定时间的加热固化后，涂覆有材料的一侧会形成带有微纳结构薄膜的材料，该材料不仅拥有极大的比表面积，同时与基底材料连接紧密，不易脱落。该方法不仅步骤简单，同时成本低廉，对设备的要求不高，适合大面积、大批量、规模化制备。可以制备的薄膜包括蚕丝蛋白、聚二甲基硅氧烷、聚四氟乙烯等摩擦材料以及电极材料，并能显著提高纳米发电机、自发电压力传感器等基于摩擦发电原理产品的性能。
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公开(公告)号：CN102879609A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210418979.5
申请日：2012-10-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
CPC classification number: G01P15/125 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/20 , B32B2307/202 , B32B2307/206 , B32B2310/0881 , B32B2310/14 , B32B2457/16 , G01P1/00 , G01P15/0802 , G01P2015/0822
Abstract: 本发明提供一种“H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：形成在具有双器件层的含氧硅基片的边框、双面对称的质量块、及一根梁连接边框、另一根梁连接质量块且双面对称的“H”形弹性梁，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且“H”形弹性梁与含氧硅基片的体硅层间满足条件： a和c为两根梁的宽度，b为两根梁之间的间隙，d为梁与质量块连接处的连接宽度，h为体硅层厚度。本发明的制备方法简单，成品率高；形成的器件具有高度法向的对称性，抗侧向冲击和扭转冲击的能力强，交叉灵敏度低。
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公开(公告)号：CN102642801A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210127069.1
申请日：2012-04-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种双面平行对称梁质量块结构及其制备方法，属于微电子机械系统领域，该方法通过利用双面正反对准光刻工艺在双抛(100)硅片上形成双面平行对称梁质量块图形区域，然后进行干法刻蚀和湿法各向异性刻蚀，悬臂梁的（111）面作为腐蚀终止面，自动终止硅悬臂梁的腐蚀，最终形成双面平行对称梁质量块结构。该制备方法工艺简单，可以对双面平行对称梁质量块结构尺寸进行精确控制，使得梁质量块结构的制造成品率大大提高。本发明制备的器件在法向具有高度对称性，提高了器件抗侧向冲击和扭转冲击的能力，降低了交叉灵敏度，可应用于多种MEMS器件的结构中，如电容式加速度传感器、电阻式加速度传感器、微机械陀螺等。
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公开(公告)号：CN104961094A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510430395.3
申请日：2015-07-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法，所述结构分为槽型结构、柱型结构。所述槽型结构主要通过一次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现；柱型结构主要通过两次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现，且其阵列单元中的硅微纳米线只位于柱顶端；以上结构所采用的制备方法均为成熟的MEMS工艺，具有制作成本低、制作周期短、可批量制作等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102721829B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210236528.X
申请日：2012-07-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种电容式微加速度传感器及其单片制作方法，所述加速度传感器为三明治结构，其制作方法不需要键合工艺，直接由单片双器件层SOI硅片制作形成。该加速度传感器具有双面对称直梁-质量块结构，且所述可动质量块的八个角处的直弹性梁，无需采用凸角补偿的结构就可保证最终的质量块为矩形结构，使得预期的器件结构在完成各向异性腐蚀后，能完整保留，器件具有高度法向的对称性。所述制作方法简化了制作三明治结构电容式加速度传感器的工艺，避免了繁琐的键合工艺，降低了制作工艺的难度，提高了工艺效率和可靠性。同时，该方法极大的降低了制造成本，提高了加速度传感器器件性能及器件成品率。
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公开(公告)号：CN102879608A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210418835.X
申请日：2012-10-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
CPC classification number: G01P15/125 , B81C1/00341 , B81C1/00531 , G01P2015/0871 , G01P2015/0882
Abstract: 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的边框、双面对称的质量块、及一边连接边框、另一边连接质量块的弯折形弹性梁，其中，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且处于不同平面的弯折形弹性梁交错分布、在空间上不重叠。由于弯折形弹性梁的弯折次数、梁总长、梁总宽可基于需要来确定，故本发明能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。
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公开(公告)号：CN102721829A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210236528.X
申请日：2012-07-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种电容式微加速度传感器及其单片制作方法，所述加速度传感器为三明治结构，其制作方法不需要键合工艺，直接由单片双器件层SOI硅片制作形成。该加速度传感器具有双面对称直梁-质量块结构，且所述可动质量块的八个角处的直弹性梁，无需采用凸角补偿的结构就可保证最终的质量块为矩形结构，使得预期的器件结构在完成各向异性腐蚀后，能完整保留，器件具有高度法向的对称性。所述制作方法简化了制作三明治结构电容式加速度传感器的工艺，避免了繁琐的键合工艺，降低了制作工艺的难度，提高了工艺效率和可靠性。同时，该方法极大的降低了制造成本，提高了加速度传感器器件性能及器件成品率。
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公开(公告)号：CN102495234A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110379369.4
申请日：2011-11-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及双面对称弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法，其特征在于(1)双器件层SOI硅片为弹性梁-质量块结构的基片；(2)固定上电极、固定下电极分别位于质量块的上下两边；(3)弹性梁为直梁，其一端与质量块相连，另一端与支撑框架相连；(4)过载保护凸点制作在质量块的上下两面；(5)阻尼调节槽制作在质量块的上下两面；(6)质量块电极引出通孔的位置在支撑框架之上。利用湿法腐蚀自停止技术，在湿法腐蚀中一次加工形成加速度传感器中最为重要的弹性梁-质量块结构；利用硅硅直接键合方法实现了三层硅片的键合，质量块电极引出通孔通过红外对准光刻在固定上电极制作。在提高器件灵敏度的同时也降低了交叉轴灵敏度。
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公开(公告)号：CN105071698A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510430440.5
申请日：2015-07-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N3/00
Abstract: 本发明提供一种基于液滴冷凝的热电转换能量采集装置及制备方法，所述热电转换能量采集装置包括散热端、上极板、下极板、传热板和超疏水壁面。所述传热板是具有超强导热能力的金属极板，其下表面与外界废热源相连，用于将外部热能传递到传热板上表面的液态水上。能量采集装置的侧壁和顶层内表面均采用超疏水材料，避免传热板上面蒸发的水蒸汽在内壁上冷凝，使水蒸汽集中冷凝在置于顶层内表面的上极板上，上极板与下极板的电介质层上下相对放置。当冷凝在上极板的液滴滴落在电介质层表面时，液滴与电介质层接触界面的电荷会重新分布，并在内外电极两端产生一个瞬时电势差，此电势差实现液滴碰撞发电，可以将外部热能转化为电能。
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