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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112968343A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110141232.9
申请日：2021-02-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置，是将高能量低重复频率的激光脉冲从偏振分光棱镜上变为S偏振光入射，通过被施加1/2波电压的普克尔盒(随后撤掉电压)变为P偏振光。通过高反镜反射后进入充气空芯光纤，相互作用产生高次谐波，随后在偏振片上透射输出产生的高次谐波，其余未转换为高次谐波的入射光被反射后通过泵浦源补充损失能量、高反镜反射后开始下一次循环输出。本发明装置通过适当设计各个光学器件间的距离，可以缩短腔长，可以减少激光在其中循环输出的时间，有效解决常规方法产生的高次谐波重复频率低的问题，实现高效高重复频率的可控谐波输出。
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公开(公告)号：CN112382915A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011317370.X
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种突发模式脉冲提升LPP‑EUV光源功率的方法，包括步骤：将LPP‑EUV的主驱动二氧化碳激光器调制或转换为突发模式；在突发模式下对脉冲串组成宏脉冲包络进行放大，放大输出的包含多个子脉冲的宏脉冲的脉冲能量大于未经调制的单个脉冲能量；驱动LPP‑EUV的高频大功率二氧化碳激光器的输出平均功率提升，进而提升LPP‑EUV光源功率。本发明有效地减小激光放大过程中带来的非线性效应和增益饱和效应，提升驱动LPP‑EUV的高频大功率CO2激光器的输出平均功率，操作方式简单，科学有效。
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公开(公告)号：CN112197940A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202010965089.0
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种单光路精确测量近远场基准与准直装置。在本发明中光路采用镀膜不同的双透镜，通过第一透镜内光的透射与反射，之后的光再通过第二透镜，分别可以在光路后的高分辨率CCD中呈现精确的近场(经过双透镜后缩小的图像)和远场(无穷远处聚焦)的光斑图像。而此时的近场和远场图像呈现在了同一幅图像之中。该装置较传统准直基准装置来说，结构简单，且准直结果同样精确，并且易于实现。通过此方法准直激光的光路，可以简化准直系统的设计方案，通过单一CCD便可以同时采集光路中精确的近远场图像，以此来达到快速准直光路的目的。
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公开(公告)号：CN112968343B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202110141232.9
申请日：2021-02-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置，是将高能量低重复频率的激光脉冲从偏振分光棱镜上变为S偏振光入射，通过被施加1/2波电压的普克尔盒(随后撤掉电压)变为P偏振光。通过高反镜反射后进入充气空芯光纤，相互作用产生高次谐波，随后在偏振片上透射输出产生的高次谐波，其余未转换为高次谐波的入射光被反射后通过泵浦源补充损失能量、高反镜反射后开始下一次循环输出。本发明装置通过适当设计各个光学器件间的距离，可以缩短腔长，可以减少激光在其中循环输出的时间，有效解决常规方法产生的高次谐波重复频率低的问题，实现高效高重复频率的可控谐波输出。
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公开(公告)号：CN112197940B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202010965089.0
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种单光路精确测量近远场基准与准直装置。在本发明中光路采用镀膜不同的双透镜，通过第一透镜内光的透射与反射，之后的光再通过第二透镜，分别可以在光路后的高分辨率CCD中呈现精确的近场(经过双透镜后缩小的图像)和远场(无穷远处聚焦)的光斑图像。而此时的近场和远场图像呈现在了同一幅图像之中。该装置较传统准直基准装置来说，结构简单，且准直结果同样精确，并且易于实现。通过此方法准直激光的光路，可以简化准直系统的设计方案，通过单一CCD便可以同时采集光路中精确的近远场图像，以此来达到快速准直光路的目的。
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