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公开(公告)号：CN112558334A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011384169.3
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02F1/03
Abstract: 一种超快光开关及光调制的结构，将一束近红外飞秒激光入射至太赫兹晶体上，产生单周期太赫兹脉冲，将单周期太赫兹脉冲利用抛物面镜聚焦至电光晶体，同时另一束线偏振连续光共线入射至电光晶。从电光出射的线偏振连续光入射到检偏器上，即可输出一束持续时间为皮秒量级的超快的光脉冲，形成超快电光开关和光调制。本发明采用纯光学方法，利用太赫兹脉冲操控电光晶体，能够有效地实现超快的电光开关和光调制，具有无损伤、抗干扰、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN108767629B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201810254153.7
申请日：2018-03-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/00
Abstract: 本发明是一种大能量有源多程啁啾脉冲展宽器，属于激光领域。所述的展宽器包括：激光注入导出结构；光栅展宽结构，用于对激光的时域展宽；多程控制结构，用于控制激光通过光栅程数；有源激光放大结构，对激光脉冲进行放大，用于弥补光栅衍射的能量损失。相对传统展宽器结构，具有以下明显优势：能够通过展宽程数灵活控制所需要的展宽量，通过边展宽边放大的方式提高展宽器的透过率，能够支持大能量的展宽输出，能够实现脉冲时域上的大展宽量，能够获得光束质量的展宽输出等。
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公开(公告)号：CN108448374B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810254168.3
申请日：2018-03-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于空芯光纤空间相干组束的周期量级激光系统，该系统将多光路光学参量啁啾脉冲放大技术及空间相干组束技术和激光光束在空芯光纤系统的后压缩技术相结合，最终实现大能量及少周期脉宽的激光脉冲输出。本发明中的系统利用了单路光学参量啁啾脉冲放大的高增益和无热效应的特点，使相同种子光经过N路光学参量啁啾脉冲放大压缩，然后对放大后的信号光进行空间相干合成，再经过整形聚焦后注入到空芯光纤压缩系统中，实现大能量，少周期短脉宽，光束质量好的激光脉冲输出。该发明大大降低了对光学参量啁啾脉冲放大中晶体和压缩器中光栅的损伤阈值的要求，也大大降低了空间相干组束过程中对每路输出光的相对延时控制的严格要求。
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公开(公告)号：CN112382915A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011317370.X
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种突发模式脉冲提升LPP‑EUV光源功率的方法，包括步骤：将LPP‑EUV的主驱动二氧化碳激光器调制或转换为突发模式；在突发模式下对脉冲串组成宏脉冲包络进行放大，放大输出的包含多个子脉冲的宏脉冲的脉冲能量大于未经调制的单个脉冲能量；驱动LPP‑EUV的高频大功率二氧化碳激光器的输出平均功率提升，进而提升LPP‑EUV光源功率。本发明有效地减小激光放大过程中带来的非线性效应和增益饱和效应，提升驱动LPP‑EUV的高频大功率CO2激光器的输出平均功率，操作方式简单，科学有效。
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公开(公告)号：CN112197940A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202010965089.0
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种单光路精确测量近远场基准与准直装置。在本发明中光路采用镀膜不同的双透镜，通过第一透镜内光的透射与反射，之后的光再通过第二透镜，分别可以在光路后的高分辨率CCD中呈现精确的近场(经过双透镜后缩小的图像)和远场(无穷远处聚焦)的光斑图像。而此时的近场和远场图像呈现在了同一幅图像之中。该装置较传统准直基准装置来说，结构简单，且准直结果同样精确，并且易于实现。通过此方法准直激光的光路，可以简化准直系统的设计方案，通过单一CCD便可以同时采集光路中精确的近远场图像，以此来达到快速准直光路的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108448374A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810254168.3
申请日：2018-03-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于空芯光纤空间相干组束的周期量级激光系统，该系统将多光路光学参量啁啾脉冲放大技术及空间相干组束技术和激光光束在空芯光纤系统的后压缩技术相结合，最终实现大能量及少周期脉宽的激光脉冲输出。本发明中的系统利用了单路光学参量啁啾脉冲放大的高增益和无热效应的特点，使相同种子光经过N路光学参量啁啾脉冲放大压缩，然后对放大后的信号光进行空间相干合成，再经过整形聚焦后注入到空芯光纤压缩系统中，实现大能量，少周期短脉宽，光束质量好的激光脉冲输出。该发明大大降低了对光学参量啁啾脉冲放大中晶体和压缩器中光栅的损伤阈值的要求，也大大降低了空间相干组束过程中对每路输出光的相对延时控制的严格要求。
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公开(公告)号：CN112600056B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202011384194.1
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于光参量啁啾脉冲放大的径向或角向偏振光激光装置，采用皮秒激光作为泵浦源，径向或角向偏振光作为种子源，分别用分束片各分成两束后，合并后输入至非线性放大晶体内，获得两束高能量部分径向或角向偏振光。两束高能量部分径向或角向偏振光各自经过压缩器后，一束利用半波片旋转偏振方向90°和另一束高能量非均匀飞秒径向或角向偏振光用合束镜合束。本发明通过对两路径向或角向偏振光分别用OPCPA放大后再合束，能够有效地实现径向或角向偏振光的放大，较好地保持径向或角向偏振光的属性特征，从而获得一束高能量飞秒径向或角向偏振光。本发明能够有效地解决传统的OPCPA由于径向或角向偏振光的偏振方向不均匀而造成无法放大的问题，实现高能量的径向或角向偏振光激光输出。
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公开(公告)号：CN111711052B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010499011.4
申请日：2020-06-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于电光调制的啁啾脉冲光谱整形装置，包括：沿着信号光传输方向依次放置的展宽器、由1/2波片和偏振分光棱镜组成的起偏器、第一个电光调制器、第二个电光调制器以及由偏振分光棱镜组成的检偏器；及整形方法。本发明损耗较低，全过程无衍射，支持较大能量的光谱调制；调节简单，仅需要通过调节延时器来分别对两个电光调制器的下降沿和上升沿的时间以及电压进行调控，从而实现光谱整形。
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公开(公告)号：CN111711052A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010499011.4
申请日：2020-06-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于电光调制的啁啾脉冲光谱整形装置，包括：沿着信号光传输方向依次放置的展宽器、由1/2波片和偏振分光棱镜组成的起偏器、第一个电光调制器、第二个电光调制器以及由偏振分光棱镜组成的检偏器；及整形方法。本发明损耗较低，全过程无衍射，支持较大能量的光谱调制；调节简单，仅需要通过调节延时器来分别对两个电光调制器的下降沿和上升沿的时间以及电压进行调控，从而实现光谱整形。
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公开(公告)号：CN112197940B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202010965089.0
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种单光路精确测量近远场基准与准直装置。在本发明中光路采用镀膜不同的双透镜，通过第一透镜内光的透射与反射，之后的光再通过第二透镜，分别可以在光路后的高分辨率CCD中呈现精确的近场(经过双透镜后缩小的图像)和远场(无穷远处聚焦)的光斑图像。而此时的近场和远场图像呈现在了同一幅图像之中。该装置较传统准直基准装置来说，结构简单，且准直结果同样精确，并且易于实现。通过此方法准直激光的光路，可以简化准直系统的设计方案，通过单一CCD便可以同时采集光路中精确的近远场图像，以此来达到快速准直光路的目的。
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