一种突发模式脉冲提升LPP-EUV光源功率的方法

    公开(公告)号:CN112382915A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN202011317370.X

    申请日:2020-11-23

    Abstract: 一种突发模式脉冲提升LPP‑EUV光源功率的方法,包括步骤:将LPP‑EUV的主驱动二氧化碳激光器调制或转换为突发模式;在突发模式下对脉冲串组成宏脉冲包络进行放大,放大输出的包含多个子脉冲的宏脉冲的脉冲能量大于未经调制的单个脉冲能量;驱动LPP‑EUV的高频大功率二氧化碳激光器的输出平均功率提升,进而提升LPP‑EUV光源功率。本发明有效地减小激光放大过程中带来的非线性效应和增益饱和效应,提升驱动LPP‑EUV的高频大功率CO2激光器的输出平均功率,操作方式简单,科学有效。

    一种单光路精确测量近远场基准与准直装置

    公开(公告)号:CN112197940A

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN202010965089.0

    申请日:2020-09-15

    Abstract: 一种单光路精确测量近远场基准与准直装置。在本发明中光路采用镀膜不同的双透镜,通过第一透镜内光的透射与反射,之后的光再通过第二透镜,分别可以在光路后的高分辨率CCD中呈现精确的近场(经过双透镜后缩小的图像)和远场(无穷远处聚焦)的光斑图像。而此时的近场和远场图像呈现在了同一幅图像之中。该装置较传统准直基准装置来说,结构简单,且准直结果同样精确,并且易于实现。通过此方法准直激光的光路,可以简化准直系统的设计方案,通过单一CCD便可以同时采集光路中精确的近远场图像,以此来达到快速准直光路的目的。

    一种基于光参量啁啾脉冲放大的径向或角向偏振光激光装置

    公开(公告)号:CN112600056B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202011384194.1

    申请日:2020-12-01

    Abstract: 一种基于光参量啁啾脉冲放大的径向或角向偏振光激光装置,采用皮秒激光作为泵浦源,径向或角向偏振光作为种子源,分别用分束片各分成两束后,合并后输入至非线性放大晶体内,获得两束高能量部分径向或角向偏振光。两束高能量部分径向或角向偏振光各自经过压缩器后,一束利用半波片旋转偏振方向90°和另一束高能量非均匀飞秒径向或角向偏振光用合束镜合束。本发明通过对两路径向或角向偏振光分别用OPCPA放大后再合束,能够有效地实现径向或角向偏振光的放大,较好地保持径向或角向偏振光的属性特征,从而获得一束高能量飞秒径向或角向偏振光。本发明能够有效地解决传统的OPCPA由于径向或角向偏振光的偏振方向不均匀而造成无法放大的问题,实现高能量的径向或角向偏振光激光输出。

    一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置

    公开(公告)号:CN112968343A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202110141232.9

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置,是将高能量低重复频率的激光脉冲从偏振分光棱镜上变为S偏振光入射,通过被施加1/2波电压的普克尔盒(随后撤掉电压)变为P偏振光。通过高反镜反射后进入充气空芯光纤,相互作用产生高次谐波,随后在偏振片上透射输出产生的高次谐波,其余未转换为高次谐波的入射光被反射后通过泵浦源补充损失能量、高反镜反射后开始下一次循环输出。本发明装置通过适当设计各个光学器件间的距离,可以缩短腔长,可以减少激光在其中循环输出的时间,有效解决常规方法产生的高次谐波重复频率低的问题,实现高效高重复频率的可控谐波输出。

    一种超快光开关及光调制的结构

    公开(公告)号:CN112558334A

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN202011384169.3

    申请日:2020-12-01

    Abstract: 一种超快光开关及光调制的结构,将一束近红外飞秒激光入射至太赫兹晶体上,产生单周期太赫兹脉冲,将单周期太赫兹脉冲利用抛物面镜聚焦至电光晶体,同时另一束线偏振连续光共线入射至电光晶。从电光出射的线偏振连续光入射到检偏器上,即可输出一束持续时间为皮秒量级的超快的光脉冲,形成超快电光开关和光调制。本发明采用纯光学方法,利用太赫兹脉冲操控电光晶体,能够有效地实现超快的电光开关和光调制,具有无损伤、抗干扰、灵敏度高等优点。

    一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置

    公开(公告)号:CN112968343B

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202110141232.9

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置,是将高能量低重复频率的激光脉冲从偏振分光棱镜上变为S偏振光入射,通过被施加1/2波电压的普克尔盒(随后撤掉电压)变为P偏振光。通过高反镜反射后进入充气空芯光纤,相互作用产生高次谐波,随后在偏振片上透射输出产生的高次谐波,其余未转换为高次谐波的入射光被反射后通过泵浦源补充损失能量、高反镜反射后开始下一次循环输出。本发明装置通过适当设计各个光学器件间的距离,可以缩短腔长,可以减少激光在其中循环输出的时间,有效解决常规方法产生的高次谐波重复频率低的问题,实现高效高重复频率的可控谐波输出。

    一种单光路精确测量近远场基准与准直装置

    公开(公告)号:CN112197940B

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202010965089.0

    申请日:2020-09-15

    Abstract: 一种单光路精确测量近远场基准与准直装置。在本发明中光路采用镀膜不同的双透镜,通过第一透镜内光的透射与反射,之后的光再通过第二透镜,分别可以在光路后的高分辨率CCD中呈现精确的近场(经过双透镜后缩小的图像)和远场(无穷远处聚焦)的光斑图像。而此时的近场和远场图像呈现在了同一幅图像之中。该装置较传统准直基准装置来说,结构简单,且准直结果同样精确,并且易于实现。通过此方法准直激光的光路,可以简化准直系统的设计方案,通过单一CCD便可以同时采集光路中精确的近远场图像,以此来达到快速准直光路的目的。

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