公开(公告)号：CN104772661A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510149320.8

申请日：2015-04-01

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 邵建达 ,  张逸中 ,  魏朝阳 ,  胡晨 ,  张海超

IPC: B24B1/00

CPC classification number: B24B13/02

Abstract: 本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法，该方法主要包括以下步骤：1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形；2)根据待加工面形误差数据，选择合适的柔性抛光小工具，结合该小工具的去除函数，确定数控机床的加工参数。3)将待加工非球面元件放置在机床加工平台上，输入加工参数，并采用变步距螺旋加工路径执行抛光工艺。4)一个周期抛光结束后，对非球面元件进行面形检测，根据面形误差数据的反馈情况，重复步骤2、3、4直至非球面的低频面形精度达标。5)对低频面形精度达标的面形数据进行PSD分析，根据PSD曲线确定的中高频误差频率分布特征，选择较大口径的柔性抛光小工具，再对非球面元件进行光顺工艺加工，重复数次直至中高频误差得到有效控制。本发明实现了仅使用CCOS数控小磨头机床便完成了非球面光学元件的全频段高精度加工。

公开(公告)号：CN107139044A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710434444.X

申请日：2015-04-01

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 魏朝阳 ,  张逸中 ,  邵建达

IPC: B24B13/01 ,  B24B49/12

CPC classification number: B24B13/012 ,  B24B49/12

Abstract: 本发明公开了一种用于加工全频段高精度非球面光学元件的柔性抛光小工具，包括金属底盘、发泡硅胶板和沥青抛光层，所述的发泡硅胶板置于所述的金属底盘和抛光胶之间。本发明通过增加发泡硅胶板，利用机床提供的压力，从而实现抛光小工具自适应非球面的面形，并且有效抑制了由于抛光盘无法与非球面表面吻合所产生的中高频误差，同时也不会对低频面形造成破坏。

公开(公告)号：CN104772661B

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201510149320.8

申请日：2015-04-01

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 邵建达 ,  张逸中 ,  魏朝阳 ,  胡晨 ,  张海超

IPC: B24B1/00

Abstract: 本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法，该方法主要包括以下步骤：1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形；2)根据待加工面形误差数据，选择合适的柔性抛光小工具，结合该小工具的去除函数，确定数控机床的加工参数。3)将待加工非球面元件放置在机床加工平台上，输入加工参数，并采用变步距螺旋加工路径执行抛光工艺。4)一个周期抛光结束后，对非球面元件进行面形检测，根据面形误差数据的反馈情况，重复步骤2、3、4直至非球面的低频面形精度达标。5)对低频面形精度达标的面形数据进行PSD分析，根据PSD曲线确定的中高频误差频率分布特征，选择较大口径的柔性抛光小工具，再对非球面元件进行光顺工艺加工，重复数次直至中高频误差得到有效控制。本发明实现了仅使用CCOS数控小磨头机床便完成了非球面光学元件的全频段高精度加工。

公开(公告)号：CN104772668A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510149319.5

申请日：2015-04-01

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 魏朝阳 ,  张逸中 ,  邵建达

IPC: B24B13/01

CPC classification number: B24B13/012

Abstract: 本发明公开了一种用于加工非球面的柔性自适应型抛光小工具，包括金属底盘、弹性材料层和抛光胶，弹性材料层使用硅橡胶类材料制成，既有很好的可塑性又不失回弹性。本发明结构简单，制作方便，加工时抛光小工具下的抛光区域会随着工件表面形状的变化而变化，并在保证低频面型的同时，有效的解决了非球面光学元件变曲率加工的问题，能够有效提高非球面光学元件的加工精度和加工效率。