提纯超纯氦气的方法和系统

    公开(公告)号:CN115872371B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202111128175.7

    申请日:2021-09-26

    Abstract: 本发明涉及氦气提纯技术领域,具体公开了一种提纯超纯氦气的方法和系统。本发明提供的方法包括以下步骤:(1)将原料气与氧气接触使得原料气中的氢气与氧气进行反应,得到催化脱氢后的气体;(2)将所述催化脱氢后的气体依次进行深冷分离和膜分离,得到膜分离后的气体;(3)在金属氧化物的存在下,将所述膜分离后的气体进行化学脱氢,之后经变温吸附得到超纯氦气。本发明将贵金属催化脱氢分离、深冷分离、聚合物膜分离、化学脱氢和变温吸附等工艺进行高效融合,避免了单独应用深冷技术对设备和能耗的极高要求、提高了脱氢、除杂的效率与效益,使得氦气制备过程简单经济,具有广阔的应用前景。

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