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公开(公告)号:CN117168362B
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202311450420.5
申请日:2023-11-03
Abstract: 本发明公开了一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法,所述装置包括激光器、3个五角分光棱镜、5个五角棱镜、4个直线度干涉镜、4个直线度反射镜和4个干涉信号接收器,激光器发射的激光束经过第1五角分光棱镜分为第1路光束和第2路光束,第1路光束测量z向平动轴x向的直线度;第2路光束经过第2五角分光棱镜分为第3路光束和第4路光束,第3路光束测量z向平动轴y向的直线度;第4路光束经过第3五角分光棱镜分为第5路光束和第6路光束,第5路光束测量y向平动轴的直线度,第6路光束测量x向平动轴的直线度。本发明能够低成本地实现三个平动轴的垂直度误差的同时测量。
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公开(公告)号:CN117168362A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202311450420.5
申请日:2023-11-03
Abstract: 本发明公开了一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法,所述装置包括激光器、3个五角分光棱镜、5个五角棱镜、4个直线度干涉镜、4个直线度反射镜和4个干涉信号接收器,激光器发射的激光束经过第1五角分光棱镜分为第1路光束和第2路光束,第1路光束测量z向平动轴x向的直线度;第2路光束经过第2五角分光棱镜分为第3路光束和第4路光束,第3路光束测量z向平动轴y向的直线度;第4路光束经过第3五角分光棱镜分为第5路光束和第6路光束,第5路光束测量y向平动轴的直线度,第6路光束测量x向平动轴的直线度。本发明能够低成本地实现三个平动轴的垂直度误差的同时测量。
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公开(公告)号:CN115144806A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202211081882.X
申请日:2022-09-06
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01R35/00
Abstract: 本申请涉及一种校准源的标定方法、装置、设备和系统,方法包括:基于从被测校准源的候选功能中选中的目标功能获取对应的测量点的参数,再根据测量点的参数生成标定指令发送至被测校准源,控制被测校准源输出的待标定信号波形,并通过标准表对待标定信号波形进行测量得到指示数据,最后基于指示数据与测量点的参数完成对被测校准源的目标功能的测量点标定,只需技术人员配置完成各测量点的参数即可自动完成校准源设备的出厂前标定,校准效率大大提高。
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