公开(公告)号：CN117168362B

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311450420.5

申请日：2023-11-03

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) ,  广州赛宝计量检测中心服务有限公司

Inventor： 罗凯元 ,  杨霖 ,  郑文炜 ,  王道锦 ,  阚飞

IPC: G01B11/26 ,  G01B11/27

Abstract: 本发明公开了一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法，所述装置包括激光器、3个五角分光棱镜、5个五角棱镜、4个直线度干涉镜、4个直线度反射镜和4个干涉信号接收器，激光器发射的激光束经过第1五角分光棱镜分为第1路光束和第2路光束，第1路光束测量z向平动轴x向的直线度；第2路光束经过第2五角分光棱镜分为第3路光束和第4路光束，第3路光束测量z向平动轴y向的直线度；第4路光束经过第3五角分光棱镜分为第5路光束和第6路光束，第5路光束测量y向平动轴的直线度，第6路光束测量x向平动轴的直线度。本发明能够低成本地实现三个平动轴的垂直度误差的同时测量。

公开(公告)号：CN117168362A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311450420.5

申请日：2023-11-03

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) ,  广州赛宝计量检测中心服务有限公司

Inventor： 罗凯元 ,  杨霖 ,  郑文炜 ,  王道锦 ,  阚飞

IPC: G01B11/26 ,  G01B11/27

Abstract: 本发明公开了一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法，所述装置包括激光器、3个五角分光棱镜、5个五角棱镜、4个直线度干涉镜、4个直线度反射镜和4个干涉信号接收器，激光器发射的激光束经过第1五角分光棱镜分为第1路光束和第2路光束，第1路光束测量z向平动轴x向的直线度；第2路光束经过第2五角分光棱镜分为第3路光束和第4路光束，第3路光束测量z向平动轴y向的直线度；第4路光束经过第3五角分光棱镜分为第5路光束和第6路光束，第5路光束测量y向平动轴的直线度，第6路光束测量x向平动轴的直线度。本发明能够低成本地实现三个平动轴的垂直度误差的同时测量。