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发明公开
光电极微探针及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN117476830A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311814056.6

申请日：2023-12-27

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 倪毅强 , 谢燊坤 , 张树琨 , 刘红辉 , 庞超 , 任艳

IPC: H01L33/10 , H01L33/00 , G01N27/30

Abstract: 本申请涉及一种光电极微探针及其制备方法。本申请的光电极微探针包括发光二极管结构。发光二极管结构包括蓝宝石衬底，以及依次层叠设置于蓝宝石衬底的表面上的分布式布拉格反射镜层、n型氮化镓层、量子阱层及p型氮化镓层。上述光电极微探针中，在传统的光电极微探针用发光二极管结构中，设置了位于n型氮化镓层和蓝宝石衬底之间的分布式布拉格反射镜层，该分布式布拉格反射镜层能够对量子阱层发出的朝向蓝宝石衬底的光进行反射，有效的降低发光二极管结构中蓝宝石衬底的漏光，进而减少光电极微探针中的背面和侧面漏光，增强光电极微探针的选区性。

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