公开(公告)号：CN112345797A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202011215368.1

申请日：2020-11-04

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 刘珉强 ,  杜川华 ,  肖龙远 ,  李晨 ,  朱小锋 ,  乔伟 ,  许蔚 ,  熊涔 ,  陈泉佑 ,  段丙皇 ,  许献国 ,  赵洪超

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明公开了一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置及方法，包括测试电脑、电压信号检测装置、直流电源、PCB板、屏蔽体和辐射源，其中，PCB板上设置有MEMS加速度计，MEMS加速度计包括检测电路和敏感结构，通过检测电路对敏感结构进行检测，并经电压信号检测装置发送给测试电脑，以确定MEMS加速度计是否受辐射影响以及影响程度。