非球面光学元件面形检测装置

    公开(公告)号:CN101672628B

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200910024274.3

    申请日:2009-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件面形检测装置。该装置在现有干涉法面形检测装置的基础上,通过增设两个可控光阑实现了对检测光波和参考光波的光强测量,通过增设压电陶瓷实现了对相移干涉条纹的采集;非球面面形测量软件包通过计算待检非球面光学元件的待测面形与标准球面之间的相位偏差以及待检非球面光学元件的理想面形与标准球面之间的相位偏差,可方便地获得待检非球面光学元件的面形与其理想面形间的相位偏差。因此,本发明可以有效地解决大偏离量非球面光学元件面形的检测问题,不需要实际加工计算全息图,可降低检测成本、缩短检测周期,并提高了检测精度。

    紫外光学材料折射率测量装置

    公开(公告)号:CN101358923B

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN200810150901.3

    申请日:2008-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种紫外光学材料折射率测量装置,包括单色光源系统、准直光学系统、测角仪、聚焦光学系统、光电探测处理系统、置有折射率测量软件包的计算机处理系统。主要特点是,单色光源系统提供连续可变的紫外单色光,光电探测处理系统在测角仪的带动下探测被测紫外棱镜的折射光信号并转换成电信号,测角仪记录折射光对应的角度,折射率测量软件包处理测量数据并对角度测量值进行误差补偿,最终获得被测紫外棱镜的折射率。本发明不仅实现了190nm~450nm波长范围紫外全波段连续光波的测量,同时还消除了该测量装置固有角度测量误差对探测与瞄准折射光信号的影响,从而提高了折射光角度测量精度,进而改善了折射率测量的准确度。

    紫外光学材料折射率测量装置

    公开(公告)号:CN101358923A

    公开(公告)日:2009-02-04

    申请号:CN200810150901.3

    申请日:2008-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种紫外光学材料折射率测量装置,包括单色光源系统、准直光学系统、测角仪、聚焦光学系统、光电探测处理系统、置有折射率测量软件包的计算机处理系统。主要特点是,单色光源系统提供连续可变的紫外单色光,光电探测处理系统在测角仪的带动下探测被测紫外棱镜的折射光信号并转换成电信号,测角仪记录折射光对应的角度,折射率测量软件包处理测量数据并对角度测量值进行误差补偿,最终获得被测紫外棱镜的折射率。本发明不仅实现了190nm~450nm波长范围紫外全波段连续光波的测量,同时还消除了该测量装置固有角度测量误差对探测与瞄准折射光信号的影响,从而提高了折射光角度测量精度,进而改善了折射率测量的准确度。

    非球面光学元件面形检测装置

    公开(公告)号:CN101672628A

    公开(公告)日:2010-03-17

    申请号:CN200910024274.3

    申请日:2009-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件面形检测装置。该装置在现有干涉法面形检测装置的基础上,通过增设两个可控光阑实现了对检测光波和参考光波的光强测量,通过增设压电陶瓷实现了对相移干涉条纹的采集;非球面面形测量软件包通过计算待检非球面光学元件的待测面形与标准球面之间的相位偏差以及待检非球面光学元件的理想面形与标准球面之间的相位偏差,可方便地获得待检非球面光学元件的面形与其理想面形间的相位偏差。因此,本发明可以有效地解决大偏离量非球面光学元件面形的检测问题,不需要实际加工计算全息图,可降低检测成本、缩短检测周期,并提高了检测精度。

    激光微能量标准装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102393247B

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201110235206.9

    申请日:2011-08-16

    Abstract: 本发明公开了一种激光微能量标准装置,属于光学计量领域,用于激光微能量计的标定。该标准装置包括标准激光光源、脉冲发生器组件、测量组件和计算机系统。脉冲发生器组件含有两个转速不同、通光孔径不同的斩波器,从而使标准激光光源输出的连续激光被斩波成低重复频率、低占空比的脉冲激光;测量组件用两个不同的探测器分别测量脉冲激光的激光功率和脉冲宽度,计算机系统通过其内置软件采集测量组件和带标定微能量计的测量信号,并采用相应的计算公式获得标定参量。本发明实现了激光微能量的量值复现和量值传递,可保证对1μJ~0.1pJ的激光能量进行精确复现。

    便携式现场激光能量测量装置

    公开(公告)号:CN102062636A

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN201010546915.4

    申请日:2010-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种便携式现场激光能量测量装置,属于光学计量与测试领域。其特点是,在激光能量计探头内放置温度传感器,以监测能量计传感器所处的工作环境温度,并根据通过能量计标准装置所获得的温度灵敏度关系曲线对激光能量测量值予以修正,以消除环境温度对测量结果的影响,从而实现现场激光能量的准确测量。本发明与传统加热制冷法现场激光能量测量装置相比,不需要加热和制冷设备,同时还具有结构简单、便于携带、成本低、应用前景广的特点。

    数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置

    公开(公告)号:CN101650163B

    公开(公告)日:2011-03-16

    申请号:CN200910023813.1

    申请日:2009-09-07

    Abstract: 本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是,首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数,以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣;然后,再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析,其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计,并用于数字干涉条纹图像的移频,从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外,基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学元件面形检测装置能够对空间载频不是频率采样间隔整数倍时的干涉条纹进行高精度分析,而且检测装置结构组成简单,测量实时性好。

    数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置

    公开(公告)号:CN101650163A

    公开(公告)日:2010-02-17

    申请号:CN200910023813.1

    申请日:2009-09-07

    Abstract: 本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是,首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数,以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣;然后,再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析,其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计,并用于数字干涉条纹图像的移频,从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外,基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学元件面形检测装置能够对空间载频不是频率采样间隔整数倍时的干涉条纹进行高精度分析,而且检测装置结构组成简单,测量实时性好。

    激光微能量标准装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102393247A

    公开(公告)日:2012-03-28

    申请号:CN201110235206.9

    申请日:2011-08-16

    Abstract: 本发明公开了一种激光微能量标准装置,属于光学计量领域,用于激光微能量计的标定。该标准装置包括标准激光光源、脉冲发生器组件、测量组件和计算机系统。脉冲发生器组件含有两个转速不同、通光孔径不同的斩波器,从而使标准激光光源输出的连续激光被斩波成低重复频率、低占空比的脉冲激光;测量组件用两个不同的探测器分别测量脉冲激光的激光功率和脉冲宽度,计算机系统通过其内置软件采集测量组件和带标定微能量计的测量信号,并采用相应的计算公式获得标定参量。本发明实现了激光微能量的量值复现和量值传递,可保证对1μJ~0.1pJ的激光能量进行精确复现。

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