公开(公告)号：CN101650163B

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：CN200910023813.1

申请日：2009-09-07

Applicant: 中国兵器工业第二〇五研究所

Inventor： 范琦 ,  杨鸿儒 ,  黎高平 ,  陆琦

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是，首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数，以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣；然后，再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析，其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计，并用于数字干涉条纹图像的移频，从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外，基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学元件面形检测装置能够对空间载频不是频率采样间隔整数倍时的干涉条纹进行高精度分析，而且检测装置结构组成简单，测量实时性好。

公开(公告)号：CN101650163A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200910023813.1

申请日：2009-09-07

Applicant: 中国兵器工业第二〇五研究所

Inventor： 范琦 ,  杨鸿儒 ,  黎高平 ,  陆琦

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是，首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数，以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣；然后，再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析，其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计，并用于数字干涉条纹图像的移频，从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外，基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学元件面形检测装置能够对空间载频不是频率采样间隔整数倍时的干涉条纹进行高精度分析，而且检测装置结构组成简单，测量实时性好。

公开(公告)号：CN101672628A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910024274.3

申请日：2009-10-12

Applicant: 中国兵器工业第二〇五研究所

Inventor： 范琦 ,  杨鸿儒 ,  黎高平

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件面形检测装置。该装置在现有干涉法面形检测装置的基础上，通过增设两个可控光阑实现了对检测光波和参考光波的光强测量，通过增设压电陶瓷实现了对相移干涉条纹的采集；非球面面形测量软件包通过计算待检非球面光学元件的待测面形与标准球面之间的相位偏差以及待检非球面光学元件的理想面形与标准球面之间的相位偏差，可方便地获得待检非球面光学元件的面形与其理想面形间的相位偏差。因此，本发明可以有效地解决大偏离量非球面光学元件面形的检测问题，不需要实际加工计算全息图，可降低检测成本、缩短检测周期，并提高了检测精度。

公开(公告)号：CN101672628B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200910024274.3

申请日：2009-10-12

Applicant: 中国兵器工业第二〇五研究所

Inventor： 范琦 ,  杨鸿儒 ,  黎高平

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件面形检测装置。该装置在现有干涉法面形检测装置的基础上，通过增设两个可控光阑实现了对检测光波和参考光波的光强测量，通过增设压电陶瓷实现了对相移干涉条纹的采集；非球面面形测量软件包通过计算待检非球面光学元件的待测面形与标准球面之间的相位偏差以及待检非球面光学元件的理想面形与标准球面之间的相位偏差，可方便地获得待检非球面光学元件的面形与其理想面形间的相位偏差。因此，本发明可以有效地解决大偏离量非球面光学元件面形的检测问题，不需要实际加工计算全息图，可降低检测成本、缩短检测周期，并提高了检测精度。