公开(公告)号：CN113825365A

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202111044454.5

申请日：2021-09-07

Applicant: 中南大学

Inventor： 刘斌 ,  李庆 ,  魏进家 ,  杨曦 ,  李瑾

IPC: H05K7/20 ,  F28D15/04 ,  H01L23/427

Abstract: 本发明公开了一种强化沸腾传热的分层式微纳复合结构及其加工方法，分层式微纳复合结构包括硅基板、硅基板上生长的柱形微结构以及柱形微结构顶面四周的纳米空穴。该复合结构以阵列式排布的柱形微结构为基础，能有效提高热流密度区的液体补给速度；在柱形微结构顶面四周生成的纳米空穴，能有效提高汽化核心密度，从而提高沸腾传热系数。纳米尺度空穴仅分布在柱形微结构顶面的四周，有效防止高热流密度区气泡在柱形微结构底部的大面积横向合并，有效延缓传热恶化的发生，并保证液体补给能力不会因为纳米结构的引入而遭到削弱。通过干腐蚀法一次加工成型分层式微纳复合结构，实现微结构的精确调控，该加工方法操作简单且制造成本较低。

公开(公告)号：CN113825365B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202111044454.5

申请日：2021-09-07

Applicant: 中南大学

Inventor： 刘斌 ,  李庆 ,  魏进家 ,  杨曦 ,  李瑾

IPC: H05K7/20 ,  F28D15/04 ,  H01L23/427

Abstract: 本发明公开了一种强化沸腾传热的分层式微纳复合结构及其加工方法，分层式微纳复合结构包括硅基板、硅基板上生长的柱形微结构以及柱形微结构顶面四周的纳米空穴。该复合结构以阵列式排布的柱形微结构为基础，能有效提高热流密度区的液体补给速度；在柱形微结构顶面四周生成的纳米空穴，能有效提高汽化核心密度，从而提高沸腾传热系数。纳米尺度空穴仅分布在柱形微结构顶面的四周，有效防止高热流密度区气泡在柱形微结构底部的大面积横向合并，有效延缓传热恶化的发生，并保证液体补给能力不会因为纳米结构的引入而遭到削弱。通过干腐蚀法一次加工成型分层式微纳复合结构，实现微结构的精确调控，该加工方法操作简单且制造成本较低。