公开(公告)号：CN118603071A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410812589.9

申请日：2024-06-22

Applicant: 中北大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院 ,  赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司

Inventor： 曹慧亮 ,  田慧敏 ,  魏雯强 ,  王晓毅 ,  谢会开 ,  杨云春 ,  王馨宇 ,  崔让

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、灵敏度低的问题。全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括中心锚点；中心锚点的外侧面连接有两根呈左右对称分布的直形支撑悬梁A；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座的上表面溅射有中心点状平面电极、四个沿周向对称分布的等腰梯形平面电极、四个沿周向对称分布的格栅形平面电极、四对沿周向对称分布的外围点状平面电极A、四个沿周向对称分布的外围点状平面电极B、四对沿周向对称分布的条形平面电极。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN118603070A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410812556.4

申请日：2024-06-22

Applicant: 中北大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院 ,  赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司

Inventor： 魏雯强 ,  曹慧亮 ,  田慧敏 ,  王晓毅 ,  谢会开 ,  杨云春 ,  蔡麒 ,  崔让

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪灵敏度低、测量精度低的问题。高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括轮结构和环结构；所述轮结构包括圆盘形质量块；圆盘形质量块的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；所述环结构包括圆环形质量块B；圆环形质量块B同轴套设于圆环形质量块A的外侧；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座与圆盘形质量块同轴设置。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN117308906A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311299272.1

申请日：2023-10-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  田慧敏 ,  魏雯强 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种新型三轴硅微陀螺仪。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种新型三轴硅微陀螺仪，包括玻璃衬底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆柱形中心锚点、四组方块形锚点A、四对方块形锚点B；圆柱形中心锚点、四组方块形锚点A、四对方块形锚点B均键合于玻璃衬底的上表面；所述电极部分包括四对弧形电极A、四个弧形电极B、四对弧形电极C、四个弧形电极D、四个矩形电极；四对弧形电极A、四个弧形电极B、四对弧形电极C、四个弧形电极D均键合于玻璃衬底的上表面；四个矩形电极均溅射于玻璃衬底的上表面。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。