公开(公告)号：CN114609049A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210242500.0

申请日：2022-03-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  齐姣 ,  薛鹏 ,  易进 ,  王志斌 ,  李孟委

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/01 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明属于椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，包括起偏臂、检偏臂和样本台，所述起偏臂的光路方向上依次设置有检偏臂、样本台；所述起偏臂包括光源、起偏器和第一快轴可调圆形弹光调制器，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一快轴可调圆形弹光调制器，所述第一快轴可调圆形弹光调制器的光路方向上设置有样本台。本发明采用的椭偏测量方法具有单次测量、测量精度高、标定简单、光谱范围宽等优点。本发明提出的测量装置，较机械旋转速度可提高3‑4个数量级，采用的45°双驱动快轴可调圆形弹光调制器具有光谱范围宽、调制速度快、稳定性高等优质的偏振调制性能。

公开(公告)号：CN114609049B

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202210242500.0

申请日：2022-03-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  齐姣 ,  薛鹏 ,  易进 ,  王志斌 ,  李孟委

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/01 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明属于椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，包括起偏臂、检偏臂和样本台，所述起偏臂的光路方向上依次设置有检偏臂、样本台；所述起偏臂包括光源、起偏器和第一快轴可调圆形弹光调制器，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一快轴可调圆形弹光调制器，所述第一快轴可调圆形弹光调制器的光路方向上设置有样本台。本发明采用的椭偏测量方法具有单次测量、测量精度高、标定简单、光谱范围宽等优点。本发明提出的测量装置，较机械旋转速度可提高3‑4个数量级，采用的45°双驱动快轴可调圆形弹光调制器具有光谱范围宽、调制速度快、稳定性高等优质的偏振调制性能。

公开(公告)号：CN112344840B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202011173646.1

申请日：2020-10-28

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院

Inventor： 金丽 ,  易进 ,  张瑞 ,  辛晨光 ,  李孟委

IPC: G01B7/02 ,  G01B7/30 ,  G01R33/09 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明属于位移检测技术领域，具体涉及一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置，包括下层基板部分、上层基板部分，所述上层基板部分设置在下层基板部分的上方，所述下层基板部分与上层基板部分相互平行，所述所述下层基板部分与上层基板部分之间无接触；所述下层基板部分包括下层基座、回折蛇形线圈，所述回折蛇形线圈固定在下层基座上。本发明提出的微位移检测装置，采用了隧道磁阻效应检测位移变化，同时通过合理的空间布局产生两路幅值、频率相同，相位相差90°的信号，并引入了细分电路对信号进行处理。具有检测灵敏度高、抗干扰能力强等优点。本发明用于微位移的测量。

公开(公告)号：CN112710302A

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN202011462284.8

申请日：2020-12-11

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院

Inventor： 金丽 ,  易进 ,  张瑞 ,  辛晨光 ,  李孟委

IPC: G01C21/16 ,  G01C19/5656

Abstract: 本发明属于微惯性导航仪器测量仪技术领域，具体涉及一种非谐振式纳米光栅六轴MEMS惯组测量装置，包括环形器、上层结构、下层结构，所述上层结构设置在下层结构上，所述上层结构包括惯性测量装置，所述惯性测量装置上设置有离面运动检测结构，所述离面运动检测结构的四周分别设置有第一回折型面内运动检测结构、第二回折型面内运动检测结构、第三回折型面内运动检测结构、第四回折型面内运动检测结构。本发明提出的MEMS惯性测量装置无需驱动，不需要模态匹配。本发明提出的MEMS惯性测量装置利用纳米光栅反射式检测原理，利用环形器产生光和接收反射光，通过检测光强的变化来判断产生的微位移变化。

公开(公告)号：CN112344840A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202011173646.1

申请日：2020-10-28

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院

Inventor： 金丽 ,  易进 ,  张瑞 ,  辛晨光 ,  李孟委

IPC: G01B7/02 ,  G01B7/30 ,  G01R33/09 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明属于位移检测技术领域，具体涉及一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置，包括下层基板部分、上层基板部分，所述上层基板部分设置在下层基板部分的上方，所述下层基板部分与上层基板部分相互平行，所述所述下层基板部分与上层基板部分之间无接触；所述下层基板部分包括下层基座、回折蛇形线圈，所述回折蛇形线圈固定在下层基座上。本发明提出的微位移检测装置，采用了隧道磁阻效应检测位移变化，同时通过合理的空间布局产生两路幅值、频率相同，相位相差90°的信号，并引入了细分电路对信号进行处理。具有检测灵敏度高、抗干扰能力强等优点。本发明用于微位移的测量。