公开(公告)号：CN114609049B

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202210242500.0

申请日：2022-03-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  齐姣 ,  薛鹏 ,  易进 ,  王志斌 ,  李孟委

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/01 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明属于椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，包括起偏臂、检偏臂和样本台，所述起偏臂的光路方向上依次设置有检偏臂、样本台；所述起偏臂包括光源、起偏器和第一快轴可调圆形弹光调制器，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一快轴可调圆形弹光调制器，所述第一快轴可调圆形弹光调制器的光路方向上设置有样本台。本发明采用的椭偏测量方法具有单次测量、测量精度高、标定简单、光谱范围宽等优点。本发明提出的测量装置，较机械旋转速度可提高3‑4个数量级，采用的45°双驱动快轴可调圆形弹光调制器具有光谱范围宽、调制速度快、稳定性高等优质的偏振调制性能。

公开(公告)号：CN114609049A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210242500.0

申请日：2022-03-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  齐姣 ,  薛鹏 ,  易进 ,  王志斌 ,  李孟委

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/01 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明属于椭偏测量装置技术领域，具体涉及一种微秒级快轴可调弹光调制超高速广义椭偏测量装置，包括起偏臂、检偏臂和样本台，所述起偏臂的光路方向上依次设置有检偏臂、样本台；所述起偏臂包括光源、起偏器和第一快轴可调圆形弹光调制器，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、第一快轴可调圆形弹光调制器，所述第一快轴可调圆形弹光调制器的光路方向上设置有样本台。本发明采用的椭偏测量方法具有单次测量、测量精度高、标定简单、光谱范围宽等优点。本发明提出的测量装置，较机械旋转速度可提高3‑4个数量级，采用的45°双驱动快轴可调圆形弹光调制器具有光谱范围宽、调制速度快、稳定性高等优质的偏振调制性能。