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公开(公告)号：CN1280673C
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN02819901.4
申请日：2002-10-21
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/008
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0007
Abstract: 本发明涉及用于在液晶显示器电路或半导体集成电路上制造精细电路图案的LCD电路光刻胶组合物，更特别涉及，包括如下物质的LCD电路光刻胶组合物：(a)包括分子量为3,000～9,000的酚醛清漆树脂和分子量为3,500～10,000的分级酚醛清漆树脂的混合聚合物树脂；(b)二叠氮化物类型感光化合物；(c)光敏剂；和(d)有机溶剂，其中在该酚醛清漆树脂中，间甲酚和对甲酚的混合比是(40～60)重量份∶(60～40)重量份。本发明的LCD电路光刻胶组合物具有优异的感光性、保留值比、分辨率、对比度、耐热性、粘合力和剥离剂溶解度，因此对于较好的工作环境，此光刻胶组合物可以容易地应用于工业工作场所。
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公开(公告)号：CN1766732A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510090790.8
申请日：2002-08-20
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和1，2－二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在LCD制造过程中用作光刻胶。
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公开(公告)号：CN1261822C
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN02816205.6
申请日：2002-08-20
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和1，2-二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辩率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在LCD制造过程中用作光刻胶。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1766719A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510090789.5
申请日：2002-08-20
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G02F1/1339 , G03F7/022
Abstract: 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和1，2－二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在LCD制造过程中用作光刻胶。
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公开(公告)号：CN1543591A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN02816205.6
申请日：2002-08-20
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/023
Abstract: 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和1，2－二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在LCD制造过程中用作光刻胶。
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公开(公告)号：CN1568444A
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN02820267.8
申请日：2002-10-21
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226
Abstract: 本发明涉及用于LCD制造工艺的正型感光树脂组合物，更特别涉及包括碱溶性树脂和新颖二叠氮醌磺酸酯化合物的组合物，该组合物具有优异的显影性能、留下较少的残余物和良好的耐化学品性等，并且容易形成图案和具有高透射率，因此适于在LCD中和在集成电路器件中形成内绝缘层。
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公开(公告)号：CN1266544C
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN02820267.8
申请日：2002-10-21
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226
Abstract: 本发明涉及用于LCD制造工艺的正型感光树脂组合物，更特别涉及包括碱溶性树脂和新颖二叠氮醌磺酸酯化合物的组合物，该组合物具有优异的显影性能、留下较少的残余物和良好的耐化学品性等，并且容易形成图案和具有高透射率，因此适于在LCD中和在集成电路器件中形成内绝缘层。
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公开(公告)号：CN1564966A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN02819901.4
申请日：2002-10-21
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/008
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0007
Abstract: 本发明涉及用于在液晶显示器电路或半导体集成电路上制造精细电路图案的LCD电路光刻胶组合物，更特别涉及，包括如下物质的LCD电路光刻胶组合物：(a)包括分子量为3,000～9,000的酚醛清漆树脂和分子量为3,500～10,000的分级酚醛清漆树脂的混合聚合物树脂；(b)二叠氮化物类型感光化合物；(c)光敏剂；和(d)有机溶剂。本发明的LCD电路光刻胶组合物具有优异的感光性、保留值比、分辨率、对比度、耐热性、粘合力和剥离剂溶解度，因此对于较好的工作环境，此光刻胶组合物可以容易地应用于工业工作场所。
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