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公开(公告)号:CN1564966A
公开(公告)日:2005-01-12
申请号:CN02819901.4
申请日:2002-10-21
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/008
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0007
Abstract: 本发明涉及用于在液晶显示器电路或半导体集成电路上制造精细电路图案的LCD电路光刻胶组合物,更特别涉及,包括如下物质的LCD电路光刻胶组合物:(a)包括分子量为3,000~9,000的酚醛清漆树脂和分子量为3,500~10,000的分级酚醛清漆树脂的混合聚合物树脂;(b)二叠氮化物类型感光化合物;(c)光敏剂;和(d)有机溶剂。本发明的LCD电路光刻胶组合物具有优异的感光性、保留值比、分辨率、对比度、耐热性、粘合力和剥离剂溶解度,因此对于较好的工作环境,此光刻胶组合物可以容易地应用于工业工作场所。
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公开(公告)号:CN1280673C
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN02819901.4
申请日:2002-10-21
Applicant: 东进瑟弥侃株式会社
IPC: G03F7/008
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0007
Abstract: 本发明涉及用于在液晶显示器电路或半导体集成电路上制造精细电路图案的LCD电路光刻胶组合物,更特别涉及,包括如下物质的LCD电路光刻胶组合物:(a)包括分子量为3,000~9,000的酚醛清漆树脂和分子量为3,500~10,000的分级酚醛清漆树脂的混合聚合物树脂;(b)二叠氮化物类型感光化合物;(c)光敏剂;和(d)有机溶剂,其中在该酚醛清漆树脂中,间甲酚和对甲酚的混合比是(40~60)重量份∶(60~40)重量份。本发明的LCD电路光刻胶组合物具有优异的感光性、保留值比、分辨率、对比度、耐热性、粘合力和剥离剂溶解度,因此对于较好的工作环境,此光刻胶组合物可以容易地应用于工业工作场所。
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