热处理炉、平板显示元件制造装置、方法及平板显示元件

    公开(公告)号:CN101050922A

    公开(公告)日:2007-10-10

    申请号:CN200710095801.0

    申请日:2007-04-04

    Abstract: 本发明提供一种热处理炉、平板显示元件制造装置、方法及平板显示元件,可在常压下以密闭和开放的结构应用,可连续地进行工序进程,减少待机时间,从而减少工序时间,具有提高效率和节约费用的效果,与使用现有方式的热处理工序相比,曝露在高温中的时间显著减少,所以可以减少高温工序时基板的热膨胀/收缩造成的损伤,在减少不良率的同时,具有增加形成在基板上的材料层的致密度的效果。所述热处理炉包括:产生微波的磁控管;对所述磁控管所产生的微波进行传导的波导管;以及放电管,其根据通过所述波导管传导的微波和气体供给装置供给的气体来形成微波等离子体,并放出所述形成的等离子体,使其照射到涂布有构造物形成材料层的面板上。

    压印光刻用模板和应用该模板的压印光刻方法

    公开(公告)号:CN101187777A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200710187100.X

    申请日:2007-11-23

    Abstract: 本发明涉及压印光刻用模板和应用该模板的压印光刻方法,所述压印光刻用模板能够防止由压印光刻中出现的静电所产生的杂质的粘合以及下部图案的损毁,能够在基板上提供具有良好品质的图案,所述压印光刻方法是利用高分子树脂模的成型物制造工序,在该方法中,在利用高分子树脂的模板形成图案时,在具有图案形状的高分子树脂模的背面使用通过蒸镀等而含有导电体的透光率高的导电层作为背面支持体,从而抑制静电的产生。本发明的压印光刻用模板的特征在于,其包括高分子树脂模和具有透光性和传导性的背面支持体,所述高分子树脂模在一面形成有用于形成图案的凹凸,所述背面支持体附着于上述高分子树脂模的与形成有凸凹一面相反的面上。

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