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发明公开
一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118895489A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202410909662.4

申请日：2024-07-09

Applicant: 东莞理工学院

Inventor： 黄云伟 , 蒋嘉赟 , 杨霖 , 王凯强 , 杨喆 , 龙建宇 , 李川

IPC: C23C16/40 , C23C16/56 , G01N25/20

Abstract: 本发明涉及一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，包括如下步骤：对GH3536镍基高温硬质合金，进行机械研磨处理后，放入化学反应炉中；先通CH3CN(乙腈)、TiCl4等为主要反应原料气体，在900℃左右生成TiN和Ti(C,N)复合膜层作为镍基基底薄膜热流传感器的过渡层，通入AlCl3、H2和CO2在1000℃下反应生成α‑Al2O3作为绝缘层，通过旋涂法在Al2O3膜层表面旋涂A‑4‑10酸性铝溶胶凝胶溶液，制备Sol‑gel‑Al2O3阻挡层；对步骤四得到的复合膜层进行退火处理，得到复合绝缘膜层。

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