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公开(公告)号：CN105821390A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610357132.9
申请日：2016-05-25
Applicant: 东莞南玻工程玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种旋转靶六角轴机构，配设于旋转靶驱动装置内，以驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座；旋转靶六角轴机构包括六角驱动轴和磁钢支撑轴，六角驱动轴插接于支撑座内，磁钢支撑轴设置于六角驱动轴内；磁钢支撑轴的一端伸入六角驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出六角驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入六角驱动轴的中心轴孔，且伸入六角驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与六角驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。通过改善旋转靶六角轴机构的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况。
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公开(公告)号：CN105821389A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610357014.8
申请日：2016-05-25
Applicant: 东莞南玻工程玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3407 , C03C17/00 , C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种旋转靶驱动装置，适用于磁控溅射镀膜设备，用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于支撑座的驱动轴、及设置于驱动轴内的磁钢支撑轴；磁钢支撑轴的一端伸入驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入驱动轴的中心轴孔，且伸入驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。根据本发明提供的旋转靶驱动装置，通过改善旋转靶驱动装置的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，从而避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况，避免旋转靶及其旋转靶驱动装置受损。
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公开(公告)号：CN105821388A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610357013.3
申请日：2016-05-25
Applicant: 东莞南玻工程玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/352 , C23C14/3407
Abstract: 本发明公开了一种磁控溅射镀膜设备，包括设置于相对两侧的驱动端、由驱动端驱动的旋转靶、及遮蔽驱动端和旋转靶以形成真空镀膜室的壳体；驱动端包括支撑座、插接于支撑座的驱动轴、及设置于驱动轴内的磁钢支撑轴；磁钢支撑轴的一端伸入驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入驱动轴的中心轴孔，且伸入驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。该磁控溅射镀膜设备通过改善驱动端的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，从而避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况，避免旋转靶及其驱动端受损。
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公开(公告)号：CN208151472U
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201620490760.X
申请日：2016-05-25
Applicant: 东莞南玻工程玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶驱动装置，适用于磁控溅射镀膜设备，用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于支撑座的驱动轴、及设置于驱动轴内的磁钢支撑轴；磁钢支撑轴的一端伸入驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入驱动轴的中心轴孔，且伸入驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。根据本实用新型提供的旋转靶驱动装置，通过改善旋转靶驱动装置的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，从而避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况，避免旋转靶及其旋转靶驱动装置受损。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN111774981B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202010657121.9
申请日：2020-07-09
Applicant: 咸宁南玻节能玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种玻璃磨边生产线，属于玻璃生产设备技术领域。包括输送平台、两个分别设置在输送平台两侧的玻璃定位机构、位置开关、喷水管和设置在喷水管上的若干喷水头；位置开关位于玻璃定位机构的后方，喷水管设置在玻璃定位机构的后方，各喷水头并联在喷水管上，喷水管上开设有与喷水头对应的安装缺口，喷水头包括两块圆形的夹片，每块夹片的外侧均固定有一销轴，销轴转动连接在安装缺口处的喷水管上，两块夹片之间周向均匀设置有若干挡片，挡片包括相连接的叶片一和叶片二，叶片一和叶片二之间呈锐角；各出水通道互通；挡片部分位于喷水管内，部分位于伸出喷水管之外。本发明具有能够防止喷水头堵塞等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113325342A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110739539.9
申请日：2021-06-30
Applicant: 咸宁南玻节能玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明提供了一种磁场强度检测与调节装置，属于玻璃加工设备技术领域。包包括一支架，所述支架顶端固定有检测筒，所述检测筒由废旧的靶材芯制成，所述检测筒的顶部开设有若干调节窗，所述检测筒一侧的外壁上固定有挡板；所述支架上于检测筒下方固定有滑竿，所述滑竿及挡板的轴线均与检测筒的轴线平行；本装置还包括一检测板，所述检测板的横截面呈圆弧状，所述检测板上固定有磁通量检测仪。本发明能够使得工作人员磁通管的检测调节更为便捷、准确。
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公开(公告)号：CN111774981A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010657121.9
申请日：2020-07-09
Applicant: 咸宁南玻节能玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种玻璃磨边生产线，属于玻璃生产设备技术领域。包括输送平台、两个分别设置在输送平台两侧的玻璃定位机构、位置开关、喷水管和设置在喷水管上的若干喷水头；位置开关位于玻璃定位机构的后方，喷水管设置在玻璃定位机构的后方，各喷水头并联在喷水管上，喷水管上开设有与喷水头对应的安装缺口，喷水头包括两块圆形的夹片，每块夹片的外侧均固定有一销轴，销轴转动连接在安装缺口处的喷水管上，两块夹片之间周向均匀设置有若干挡片，挡片包括相连接的叶片一和叶片二，叶片一和叶片二之间呈锐角；各出水通道互通；挡片部分位于喷水管内，部分位于伸出喷水管之外。本发明具有能够防止喷水头堵塞等优点。
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公开(公告)号：CN212553362U
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202021345799.5
申请日：2020-07-09
Applicant: 咸宁南玻节能玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种玻璃磨边用的喷头结构，属于玻璃生产设备技术领域。包括两块圆形的夹片，每块夹片的外侧均固定有一销轴，两块夹片之间周向均匀设置有若干挡片，所述挡片包括相连接的叶片一和叶片二，所述叶片一和叶片二之间呈锐角；相邻两个挡片中，其中一个挡片的叶片一与另一挡片的叶片二之间形成一出水通道，同一挡片的叶片一与叶片二之间形成一开口朝向夹片之外的受力凹口，各出水通道互通。本实用新型具有能够防止喷水头堵塞等优点。
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公开(公告)号：CN213835522U
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202023056118.6
申请日：2020-12-17
Applicant: 咸宁南玻节能玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，属于镀膜玻璃生产设备技术领域。包括靶材筒和连接轴，连接轴为中空结构，连接轴的一端外套设有一接管，接管可拆卸连接在一端盖上，端盖与靶材筒之间密封连接，连接轴内插设有若干节轴芯，连接轴内设置有将各节轴芯同轴固定的螺栓，相邻轴芯之间具有一密封垫片；靶材筒远离端盖的一端具有一检测孔。本实用新型具有能够确保靶材结构气密性满足要求等优点。
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公开(公告)号：CN212470864U
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202021345798.0
申请日：2020-07-09
Applicant: 咸宁南玻节能玻璃有限公司 , 中国南玻集团股份有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种玻璃磨边生产线，属于玻璃生产设备技术领域。包括输送平台、两个分别设置在输送平台两侧的玻璃定位机构、位置开关、喷水管和设置在喷水管上的若干喷水头；位置开关位于玻璃定位机构的后方，喷水管设置在玻璃定位机构的后方，各喷水头并联在喷水管上，喷水管上开设有与喷水头对应的安装缺口，喷水头包括两块圆形的夹片，每块夹片的外侧均固定有一销轴，销轴转动连接在安装缺口处的喷水管上，两块夹片之间周向均匀设置有若干挡片，挡片包括相连接的叶片一和叶片二，叶片一和叶片二之间呈锐角；各出水通道互通；挡片部分位于喷水管内，部分位于伸出喷水管之外。本实用新型具有能够防止喷水头堵塞等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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