钢化传动辊用的缠绕装置

    公开(公告)号:CN106829625A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710117710.6

    申请日:2017-03-01

    CPC classification number: B65H54/2836 B65H54/52 B65H54/74 B65H2701/35

    Abstract: 本发明公开了一种钢化传动辊用的缠绕装置,包括机架、导绳器、第一至第二夹持机构及第一至第二驱动机构。第一夹持机构组于机架纵向一端并夹持钢化传动辊一端;第二夹持机构组于机架纵向另一端并夹持钢化传动辊另一端,钢化传动辊在第一夹持机构和第二夹持机构的夹持下相对机架自转;第一驱动机构驱使钢化传动辊自转;导绳器沿机架的纵向滑动地设于机架上,钢化辅助绳的开始端穿过导绳器再固于钢化传动辊上;第二驱动机构组于机架并驱使导绳器做往复滑动,导绳器引出的钢化辅助绳在第一驱动机构及第二驱动机构的配合下呈螺距沿钢化传动辊的轴向布置的缠绕于该钢化传动辊上,使得钢化辅助绳均匀且可靠地缠绕于钢化传动辊上。

    旋转靶驱动装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105821389A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610357014.8

    申请日:2016-05-25

    CPC classification number: C23C14/3407 C03C17/00 C23C14/35

    Abstract: 本发明公开了一种旋转靶驱动装置,适用于磁控溅射镀膜设备,用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜;旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于支撑座的驱动轴、及设置于驱动轴内的磁钢支撑轴;磁钢支撑轴的一端伸入驱动轴的中心轴孔内,磁钢支撑轴的另一端伸出驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶;磁钢支撑轴伸入驱动轴的中心轴孔,且伸入驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。根据本发明提供的旋转靶驱动装置,通过改善旋转靶驱动装置的内部结构,减少磁钢支撑轴变形的情况,从而避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况,避免旋转靶及其旋转靶驱动装置受损。

    旋转银靶材的晶粒辊压细化装置

    公开(公告)号:CN106637115B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201611155034.3

    申请日:2016-12-14

    Abstract: 本发明公开了一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器、第一辊压轮组和第二辊压轮组。第一辊压轮组安于第一安装架并与第一安装架位于旋转银靶材径向的一侧处,第二辊压轮组安于第二安装架并与第二安装架位于旋转银靶材径向的另一侧处,驱动器安在座架上并与第一安装架及第二安装架中至少一者连接;当驱动器驱使第一安装架和第二安装架相对运动而使第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧旋转银靶材时,则被主轴带动旋转的旋转银靶材被第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化,托板带动第一辊压轮组和第二辊压轮组沿旋转银靶材的轴向辊压细化旋转银靶材的各处,以提高旋转银靶材的均匀性和降低其晶粒大小。

    旋转银靶材的晶粒辊压细化装置

    公开(公告)号:CN106637115A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611155034.3

    申请日:2016-12-14

    Abstract: 本发明公开了一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器、第一辊压轮组和第二辊压轮组。第一辊压轮组安于第一安装架并与第一安装架位于旋转银靶材径向的一侧处,第二辊压轮组安于第二安装架并与第二安装架位于旋转银靶材径向的另一侧处,驱动器安在座架上并与第一安装架及第二安装架中至少一者连接;当驱动器驱使第一安装架和第二安装架相对运动而使第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧旋转银靶材时,则被主轴带动旋转的旋转银靶材被第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化,托板带动第一辊压轮组和第二辊压轮组沿旋转银靶材的轴向辊压细化旋转银靶材的各处,以提高旋转银靶材的均匀性和降低其晶粒大小。

    旋转靶六角轴机构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105821390A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610357132.9

    申请日:2016-05-25

    CPC classification number: C23C14/3407 C23C14/35

    Abstract: 本发明公开了一种旋转靶六角轴机构,配设于旋转靶驱动装置内,以驱动旋转靶转动实现溅射镀膜;旋转靶驱动装置包括支撑座;旋转靶六角轴机构包括六角驱动轴和磁钢支撑轴,六角驱动轴插接于支撑座内,磁钢支撑轴设置于六角驱动轴内;磁钢支撑轴的一端伸入六角驱动轴的中心轴孔内,磁钢支撑轴的另一端伸出六角驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶;磁钢支撑轴伸入六角驱动轴的中心轴孔,且伸入六角驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与六角驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。通过改善旋转靶六角轴机构的内部结构,减少磁钢支撑轴变形的情况,避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况。

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