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公开(公告)号：CN115208352B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211096990.4
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的可调滤波器，包括衬底、电感、可折叠梁压焊块、可折叠梁、折痕结构、金属接触点、介质层、热膨胀结构压焊块、热膨胀结构推动杆、热膨胀结构支梁和菱形结构梁和接地板。本发明型滤波器通过控制金属接触点依次接触，改变可折叠梁所构成的开路短截线的长度实现多点调谐的滤波器，具有结构简单、调谐范围大、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN115208352A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202211096990.4
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的可调滤波器，包括衬底、电感、可折叠梁压焊块、可折叠梁、折痕结构、金属接触点、介质层、热膨胀结构压焊块、热膨胀结构推动杆、热膨胀结构支梁和菱形结构梁和接地板。本发明型滤波器通过控制金属接触点依次接触，改变可折叠梁所构成的开路短截线的长度实现多点调谐的滤波器，具有结构简单、调谐范围大、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN117553941A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311534323.4
申请日：2023-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的可重构压力传感器，该压力传感器包括水平衬底、V型梁、折纸结构梁、悬臂梁、下极板、电感结构、连接线以及金属挡板。悬臂梁与下极板构成平板电容，当悬臂梁上施加压力时，平板电容的极板间距变化引起电容的容值变化，使得平板电容与电感结构构成的谐振电路的谐振频率发生改变，实现压力检测。通过V型梁锚区施加电流，使V型梁内产生焦耳热引起热膨胀，推动V型梁驱动杆输出位移使折纸结构梁弯曲，进而驱动悬臂梁与下极板交叠面积改变，实现压力灵敏度可重构。进一步增大V型梁锚区电流，使得悬臂梁与金属挡板接触，悬臂梁沿折痕发生弯曲，造成悬臂梁弯曲高度和刚度增大，实现压力检测量程可重构。
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公开(公告)号：CN114623759B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210253461.4
申请日：2022-03-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种曲率和阈值温度集成传感器，双端固支梁两端分别与第一固支梁锚区和第二固支梁锚区连接，金属极板放置于双端固支梁中心位置下方的柔性基板上，第一平面电感两端分别与第一固支梁锚区和金属极板的一端连接；金属极板的另一端与第一触点连接，第一触点与第二触点不接触相对放置，触头与第一触点和第二触点不接触悬空放置，与V形梁尖端连接，V形梁的两端分别与第一V形梁锚区和第二V形梁锚区连接；第二平面电感分别与第二触点和第二双端固支梁锚区连接。本发明利用双端固支梁与V形梁的结构特点，将曲率引起的电容变化以及温度引起的电感变化转换为LC谐振回路的谐振频率变化，实现阈值温度和曲率的并行测量。
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公开(公告)号：CN114623759A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210253461.4
申请日：2022-03-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种曲率和阈值温度集成传感器，双端固支梁两端分别与第一固支梁锚区和第二固支梁锚区连接，金属极板放置于双端固支梁中心位置下方的柔性基板上，第一平面电感两端分别与第一固支梁锚区和金属极板的一端连接；金属极板的另一端与第一触点连接，第一触点与第二触点不接触相对放置，触头与第一触点和第二触点不接触悬空放置，与V形梁尖端连接，V形梁的两端分别与第一V形梁锚区和第二V形梁锚区连接；第二平面电感分别与第二触点和第二双端固支梁锚区连接。本发明利用双端固支梁与V形梁的结构特点，将曲率引起的电容变化以及温度引起的电感变化转换为LC谐振回路的谐振频率变化，实现阈值温度和曲率的并行测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114608718B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202210253294.3
申请日：2022-03-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器，包括衬底，蜂窝形结构梁，蜂窝形结构梁锚区，第一V形梁支梁、第二V形梁支梁、第三V形梁支梁、第四V形梁支梁，第一V形梁锚区、第二V形梁锚区、第三V形梁锚区、第四V形梁锚区，第一V形梁推动杆、第二V形梁推动杆，折纸结构梁，第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，折纸结构梁锚区，金属电极和平面电感。本发明温度传感器采用温度‑位移‑电容转化原理，灵敏度高、检测误差小，且具有工艺兼容、设计灵活、结构简单等优势。
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公开(公告)号：CN117686022A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311534322.X
申请日：2023-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的温湿度集成传感器，包括无线传输结构、热驱动梁结构、折纸式梁结构、叉指电容式湿度传感结构。当环境温度高于若干设定的温度点时，折纸式梁结构弯曲导致若干触头电极与接触电极相接触，通过叉指电容式湿度传感结构与无线传输结构形成LC谐振电路，触头电极与接触电极的依次接触引起感应电容的变化，导致谐振频率的大幅跳变；当环境湿度改变时，叉指电容式湿度传感结构中薄膜材料的介电常数变化导致叉指电容产生细微的变化，从而导致谐振频率在温度跳变点附近发生细微偏移；通过电磁耦合以无源无线的方式收集温湿度谐振频率传感信息，实现温湿度传感器的同时测量，该方案具有多参数传感、无源无线、结构简单的优势。
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公开(公告)号：CN115188559B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211096989.1
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感，包括衬底，第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构，具有Q值高、工艺兼容等优点。
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公开(公告)号：CN115188559A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202211096989.1
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感，包括衬底，第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构，具有Q值高、工艺兼容等优点。
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公开(公告)号：CN114608718A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210253294.3
申请日：2022-03-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器，包括衬底，蜂窝形结构梁，蜂窝形结构梁锚区，第一V形梁支梁、第二V形梁支梁、第三V形梁支梁、第四V形梁支梁，第一V形梁锚区、第二V形梁锚区、第三V形梁锚区、第四V形梁锚区，第一V形梁推动杆、第二V形梁推动杆，折纸结构梁，第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，折纸结构梁锚区，金属电极和平面电感。本发明温度传感器采用温度‑位移‑电容转化原理，灵敏度高、检测误差小，且具有工艺兼容、设计灵活、结构简单等优势。
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