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公开(公告)号：CN101127513A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710130947.4
申请日：2007-08-24
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于微机械电容式串联开关的可变叉指电容网络包括一系列的叉指电容和微电子机械开关，通过控制与叉指电容连接的微机械开关的通断来确定接入网络的叉指电容的个数从而可以改变整个网络的电容值。一种基于微机械电容式串联开关的可变叉指电容网络，其特征在于叉指电容以GaAs衬底1为衬底，在GaAs衬底1的上表面有传输线2，叉指结构3；微机械电容式串联开关以GaAs衬底1为衬底，在GaAs衬底1的上表面有传输线4和下拉电极7，在传输线4－2的一部分和下拉电极7上有一层SiN介质层8，在传输线4－1上有锚区5，锚区5与开关梁6的一端相连，使开关梁6悬空在SiN介质层8的上方。
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公开(公告)号：CN100588117C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200710133892.2
申请日：2007-10-12
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提出的微电子机械可调带通滤波器包括一组微电子机械电容式串联开关和平面电感(L)，通过简单的控制微电子机械电容式串联开关(kn)的通断来调节接入滤波网络的电容的大小从而调节滤波器的中心频率点。平面电感(L)以GaAs衬底(1)为衬底，在GaAs衬底的上表面两边分别设有传输线，电感线圈(3)通过连接支撑柱与第传输线连接并悬空在氮化硅介质层(9-0)和传输线(2-2)之上；微电子机械电容式串联开关以GaAs衬底为衬底，在GaAs衬底的上表面有传输线(5)和下拉电极(8)，在传输线的一部分和下拉电极上有一层SiN介质层(9)，在传输线(5-1)上有锚区(6)，锚区与开关梁(7)的一端相连，使开关梁悬空在SiN介质层的上方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101922870B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201010270277.8
申请日：2010-08-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种间壁式换热器，由导热基板加工制造而成，在基板上表面内侧设置有上层流道，在基板下表面内侧设置有下层流道，上/下层流道均采用构形树状结构的流道网络，在上层流道和下层流道之间设置有管束流道层，在管束流道层内设置有连通上层流道和下层流道的呈阵列布置的连通通道，在管束流道层的上下表面设置有肋化表面。该换热器充分利用了上/下层薄空间来布置构形树状结构流动通道网络和设置肋化表面，大大增加了单位体积内冷、热两种流体热交换所需的传热面积，提高了换热器的结构紧凑性；构形树状结构的流动通道网络实现了流体由点到体最佳路径输送，大大减少了流体输运距离，降低流道内的流体输送泵功消耗，提高了换热器的热有效性。
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公开(公告)号：CN101922870A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010270277.8
申请日：2010-08-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种间壁式换热器，由导热基板加工制造而成，在基板上表面内侧设置有上层流道，在基板下表面内侧设置有下层流道，上/下层流道均采用构形树状结构的流道网络，在上层流道和下层流道之间设置有管束流道层，在管束流道层内设置有连通上层流道和下层流道的呈阵列布置的连通通道，在管束流道层的上下表面设置有肋化表面。该换热器充分利用了上/下层薄空间来布置构形树状结构流动通道网络和设置肋化表面，大大增加了单位体积内冷、热两种流体热交换所需的传热面积，提高了换热器的结构紧凑性；构形树状结构的流动通道网络实现了流体由点到体最佳路径输送，大大减少了流体输运距离，降低流道内的流体输送泵功消耗，提高了换热器的热有效性。
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公开(公告)号：CN101060027A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710022360.1
申请日：2007-05-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 抑制衬底涡流效应的微电子机械电感以GaAs(1)为衬底，在GaAs衬底(1)的上表面有一层AlGaAs薄膜(2)，在AlGaAs薄膜(2)的上表面有一层SiN介质层(3)，电感的上层线圈(5)悬空在SiN介质层(3)的上方，电感的上层线圈(5)的中心与位于AlGaAs薄膜(2)上的电感的下层引线(4)连接，电感的上层线圈(5)的外边缘连接第一共面波导信号线(61)；接地屏障(7)为插指形状连接在共面波导地线的内侧并位于电感器上层线圈(5)与SiN介质层(3)之间；第一共面波导信号线(61)、第二共面波导信号线(62)和第一共面波导地线(81)、第二共面波导地线(82)共同构成共面波导传输线。
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公开(公告)号：CN101060027B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200710022360.1
申请日：2007-05-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 抑制衬底涡流效应的微电子机械电感以GaAs(1)为衬底，在GaAs衬底(1)的上表面有一层AlGaAs薄膜(2)，在AlGaAs薄膜(2)的上表面有一层SiN介质层(3)，电感的上层线圈(5)悬空在SiN介质层(3)的上方，电感的上层线圈(5)的中心与位于AlGaAs薄膜(2)上的电感的下层引线(4)连接，电感的上层线圈(5)的外边缘连接第一共面波导信号线(61)；接地屏障(7)为插指形状连接在共面波导地线的内侧并位于电感器上层线圈(5)与AlGaAs薄膜(2)之间；第一共面波导信号线(61)、第二共面波导信号线(62)和第一共面波导地线(81)、第二共面波导地线(82)共同构成共面波导传输线。
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公开(公告)号：CN101141120A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710133892.2
申请日：2007-10-12
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提出的微电子机械可调带通滤波器包括一组微电子机械电容式串联开关和平面电感(L)，通过简单的控制微电子机械电容式串联开关(kn)的通断来调节接入滤波网络的电容的大小从而调节滤波器的中心频率点。平面电感(L)以GaAs衬底(1)为衬底，在GaAs衬底的上表面两边分别设有传输线，电感线圈(3)通过连接支撑柱与第传输线连接并悬空在氮化硅介质层(9－0)和传输线(2－2)之上；微电子机械电容式串联开关以GaAs衬底为衬底，在GaAs衬底的上表面有传输线(5)和下拉电极(8)，在传输线的一部分和下拉电极上有一层SiN介质层(9)，在传输线(5－1)上有锚区(6)，锚区与开关梁(7)的一端相连，使开关梁悬空在SiN介质层的上方。
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