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公开(公告)号：CN107002215A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580058324.3
申请日：2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和由Si构成的第四元素作为构成元素。喷镀用粉末以40摩尔％以下的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.002以上且0.03以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相，或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的峰中强度最大的峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号：CN116547784A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180083075.9
申请日：2021-11-18
IPC: H01L21/3065
Abstract: 提供一种耐等离子体侵蚀性优异、能够长期保护等离子体蚀刻装置的构件不受等离子体侵蚀的影响、有助于设备的稳定生产、构件的长寿命化的喷镀覆膜。作为本发明的一个方式的喷镀材料由复合化物形成，所述复合化物以40mol％以上且80mol％以下的比例包含稀土氟化物，以10mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化镁，以0mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化钙。
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公开(公告)号：CN107002217B
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201580058305.0
申请日：2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和选自Al和Mg的第四元素作为构成元素，以20摩尔％以上的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.05以上且0.5以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相，或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的最大峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号：CN107002215B
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201580058324.3
申请日：2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和由Si构成的第四元素作为构成元素。喷镀用粉末以40摩尔％以下的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.002以上且0.03以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相，或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的峰中强度最大的峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号：CN107002217A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580058305.0
申请日：2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和选自Al和Mg的第四元素作为构成元素，以20摩尔％以上的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.05以上且0.5以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相，或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的最大峰的强度的0.1倍以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101274366B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN200810090529.1
申请日：2008-03-27
CPC classification number: C23C4/06 , B22F1/0096 , B22F3/115 , C22C1/0433 , C22C1/051 , C22C1/1084 , Y10T428/12014 , Y10T428/12181 , Y10T428/12493 , Y10T428/12847 , Y10T428/26 , Y10T428/264 , Y10T428/2982 , Y10T428/31678
Abstract: 一种热喷涂粉末，含有30～50mass％的碳化铬，剩余的为含有铬、铝、镱、以及钴和镍两者中的至少一种的合金。该热喷涂粉末具有20～60μm的平均粒径。该热喷涂粉末可以含有20mass％或更少的氧化镱以代替所述合金中的一部分。一种通过热喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层，尤其是一种通过高速火焰喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层适用于炉底辊。
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公开(公告)号：CN101274366A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810090529.1
申请日：2008-03-27
CPC classification number: C23C4/06 , B22F1/0096 , B22F3/115 , C22C1/0433 , C22C1/051 , C22C1/1084 , Y10T428/12014 , Y10T428/12181 , Y10T428/12493 , Y10T428/12847 , Y10T428/26 , Y10T428/264 , Y10T428/2982 , Y10T428/31678
Abstract: 一种热喷涂粉末，含有30～50mass％的碳化铬，剩余的为含有铬、铝、镱、以及钴和镍两者中的至少一种的合金。该热喷涂粉末具有20～60μm的平均粒径。该热喷涂粉末可以含有20mass％或更少的氧化镱以代替所述合金中的一部分。一种通过热喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层，尤其是一种通过高速火焰喷涂该热喷涂粉末而形成的热喷涂涂层适用于炉底辊。
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公开(公告)号：CN104919076A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201380070851.7
申请日：2013-11-27
Applicant: 福吉米株式会社
CPC classification number: C23C16/40 , B24B37/042 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C23C4/11 , C23C4/134 , C23C4/18 , C23C14/08 , C23C30/00 , Y10T428/24355
Abstract: 提供一种具备具有与以往不同的质感的新型表面的物品。由本发明提供的带有含金属氧化物的膜的物品具备基材、以及在该基材的表面设置的含金属氧化物的膜，前述含金属氧化物的膜的维氏硬度为350以上、表面粗糙度Ra为300nm以下、且20°光泽度值为50以上。
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公开(公告)号：CN102965610B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201110462982.2
申请日：2007-10-31
Applicant: 福吉米株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C23C4/10 , C23C4/11 , C23C4/12 , Y10T428/2982
Abstract: 热喷涂粉末包含原子序从60到70的任意稀土元素的氧化物组成的粒化烧结颗粒。组成粒化烧结颗粒的原始颗粒的平均颗粒尺寸是2到10μm。粒化烧结颗粒的抗压强度是7到50MPa。抗等离子体构件包括衬底和设置在衬底表面上的热喷涂涂层。热喷涂涂层通过热喷涂形成，最好通过等离子体热喷涂所述热喷涂粉末。
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公开(公告)号：CN1637163A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN200410011506.9
申请日：2004-12-24
Applicant: 福吉米株式会社
Abstract: 一种包括合金陶瓷粒子热喷涂粉末。每一种合金陶瓷粒子包括平均一次粒度为3－9μm的碳化钨粒子和金属粒子或者含铬的陶瓷粒子。合金陶瓷粒子的平均粒度优选为2－50μm，每一种合金陶瓷粒子的压缩强度优选为400－900MPa。这种热喷涂粉末能够形成具有良好的抗气蚀性和抗浆蚀性的热喷涂涂层。
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