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发明公开
一种非接触厚度测量装置与方法审中-实审

公开(公告)号：CN117091518A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202310854927.0

申请日：2023-07-13

Applicant: 东北大学秦皇岛分校

Inventor： 任金帅 , 王毅 , 宋泽国 , 马振鹤 , 赵玉倩

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明属于检测技术领域，提出一种非接触厚度测量装置与方法。装置包括超声信号激发系统和超声信号采集系统，超声信号激发系统使用光声技术进行超声信号的激发；超声信号采集系统使用光学检测方式，通过建立光学检测和光声信号之间的关系，来检测待测样品上表面反射回的光声信号，最后通过计算机解调光声信号返回的延时时间，结合超声波在待测样品中的传播速度计算出待测样品的厚度。本发明具有非接触、快速测量厚度、结构简单以及保证系统灵敏度的优点。

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