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公开(公告)号：CN114607599B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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公开(公告)号：CN114607603A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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公开(公告)号：CN118313299A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410427317.7
申请日：2024-04-10
Applicant: 东北大学
IPC: G06F30/28 , G06F30/25 , G06F113/08
Abstract: 本发明提供一种真空泵跨流态流场仿真方法及终端设备与存储介质，涉及真空泵流场仿真技术领域。所述方法是一种在流域内将CFD方法与DSMC方法耦合，并将梯度克努森数作为连续介质失效判据，同时建立不同子区网格之间对应关系，实现子区信息交互，经过子区间反复迭代模拟直到达到终止准则，从而实现真空泵内跨流态流场分析的仿真方法。本发明方法克服了真空泵中同时存在连续流、过渡流和自由分子流，不能采用单一数值方法进行仿真的难题，结合亚音速边界和动网格对旋转界面精确描述，提高了计算精度和计算效率，能成功实现螺杆真空泵内跨流态流场CFD‑DSMC相结合的仿真。
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公开(公告)号：CN114165465B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202111562747.2
申请日：2021-12-20
Applicant: 东北大学 , 沈阳恒进真空科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。
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公开(公告)号：CN114165465A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111562747.2
申请日：2021-12-20
Applicant: 东北大学 , 沈阳恒进真空科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114607598B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202011445831.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
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公开(公告)号：CN114607600B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202011447705.X
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。
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公开(公告)号：CN114607599A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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公开(公告)号：CN118309661A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410427376.4
申请日：2024-04-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明一种适用于高压差的真空泵转子及真空泵。真空泵转子包括转子本体和转子轴；转子轴内设空气流道且被隔断形成进气流道与排气流道；转子本体包括壳体及壳体围成的空腔，转子本体设至少两个转子叶片，每个转子叶片的空腔内均设有气冷流道部，气冷流道部与转子叶片的壳体内壁形成气冷流道；气冷流道部朝向气冷流道的一面上设有凸起部；转子叶片的空腔内还设有连接部，连接部连接气冷流道部与转子轴的外壁并分隔形成进气部和排气部；进气流道、进气部、气冷流道、排气部以及排气流道依次连通形成通道。本发明以环境空气为介质，通过外置风机即可实现转子内部气流的强制流动，实现转子的高效冷却，结构简单、安装方便；能实现真空泵高压差的运行。
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公开(公告)号：CN114593052B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011412108.3
申请日：2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空干泵技术领域，具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法，转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧，其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心，切圆圆弧设于转子叶顶部，且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆，以转子顶部面密封来代替原先的线密封，从而大大降低了压缩气体的反流率，提高了转子的极限压力与压缩比，同时降低了转子型线干涉的几率，避免了转子卡死。
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