公开(公告)号：CN119393788A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202411671606.8

申请日：2024-11-21

Applicant: 东北大学

Inventor： 谢元华 ,  于香宁 ,  王成龙 ,  檀敏敏 ,  刘坤 ,  巴要帅

IPC: F23M5/08 ,  F23G5/44 ,  F23G7/06

Abstract: 本发明涉及高温腔体技术领域，具体涉及一种用于高温腔体的冷却结构，包括套设于燃烧腔外部的冷却套筒。冷却套筒的内壁沿其周向开设有螺旋形通道，螺旋通道与燃烧腔的外壁之间形成用于冷却水通过的螺旋形冷却通道。通过在冷却套筒的内侧壁设置有螺旋形通道，能够使得冷却套筒对于燃烧腔满足冷却效果的均匀性和冷却水流动的稳定性，考虑到燃烧腔为圆柱型且长径比较大，故冷却结构采取螺旋形冷却通道。且在螺旋形冷却通道内部排布导流组件，使得冷却水在螺旋形冷却通道中流动更加贴近燃烧腔的内壁，从而提高冷却系统的散热效率，大大提升了换热效率以及冷却效果的均匀性。

公开(公告)号：CN118623330A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202411062123.8

申请日：2024-08-05

Applicant: 东北大学 ,  中科仪(南通)半导体设备有限责任公司

Inventor： 谢元华 ,  于香宁 ,  王云 ,  官磊 ,  檀敏敏 ,  孔祥玲 ,  王成龙 ,  许明 ,  刘坤 ,  王光玉

IPC: F23G7/06 ,  F23G5/44

Abstract: 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖；所述气帘环设置在所述反应腔的内部，所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口；所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室；所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部，燃烧口贯穿至所述上盖下端面；所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路，四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖；所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，提高燃烧效率进而提高废气处理效率。