公开(公告)号：CN115502786B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202211275456.X

申请日：2022-10-18

Applicant: 东北大学

Inventor： 陈新 ,  姚杰 ,  孙正宇 ,  孟凡伟 ,  洪建红 ,  王紫瑄 ,  于天彪 ,  赵继

IPC: B24B1/04 ,  B24B13/00 ,  B24B55/03 ,  B24B57/02 ,  B24B41/00

Abstract: 本发明涉及一种高效高精度超声化学抛光及清洗的集成装置，包括机座、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、XY轴二维超声振动抛光机构、Z轴超声振动机构、可调速超声雾化供液机构和冷水机槽。本发明装置耦合了超声场、化学场和机械场，集成了超声抛光、超声化学复合抛光、超声纳米润滑抛光和超声清洗的多功能一体化系统，极大提高材料去除效率，减少表面材料的破坏性去除占比，协同抛光浆料的均匀纳米雾化可控供给和超声振动清洗实现余量调控加工和高精度无损伤表面制造。

公开(公告)号：CN115502786A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202211275456.X

申请日：2022-10-18

Applicant: 东北大学

Inventor： 陈新 ,  姚杰 ,  孙正宇 ,  孟凡伟 ,  洪建红 ,  王紫瑄 ,  于天彪 ,  赵继

IPC: B24B1/04 ,  B24B13/00 ,  B24B55/03 ,  B24B57/02 ,  B24B41/00

Abstract: 本发明涉及一种高效高精度超声化学抛光及清洗的集成装置，包括机座、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、XY轴二维超声振动抛光机构、Z轴超声振动机构、可调速超声雾化供液机构和冷水机槽。本发明装置耦合了超声场、化学场和机械场，集成了超声抛光、超声化学复合抛光、超声纳米润滑抛光和超声清洗的多功能一体化系统，极大提高材料去除效率，减少表面材料的破坏性去除占比，协同抛光浆料的均匀纳米雾化可控供给和超声振动清洗实现余量调控加工和高精度无损伤表面制造。