公开(公告)号：CN109952816A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201780063567.5

申请日：2017-10-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  东京计器株式会社

Inventor： 金子和史 ,  河田祐纪 ,  村井浩一 ,  牛窪隆之

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明的一实施方式的微波输出装置中，从方向性耦合器输出自微波产生部传播至输出部的行进波的一部分。在第1测定部中，利用二极管检波产生与行进波的一部分的功率对应的模拟信号，将该模拟信号转换为数字值。并且，选择与对微波输出装置中被指定的微波的设定频率及设定功率建立对应的一个以上的校正系数。通过将所选择的一个以上的校正系数与数字值相乘来确定测定值。

公开(公告)号：CN115336397A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202180024792.4

申请日：2021-01-13

Applicant: 东京计器株式会社

Inventor： 村井浩一

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/24 ,  A61L2/14

Abstract: 本发明公开了一种高频生成装置(2)，其使由高频放大器放大并供给到等离子体生成电极的高频电力中的高次谐波减少，其中，高频生成装置具备生成将补偿波和基波合成而得的合成波的高频生成部(201)，补偿波是将由基波的输入而生成的高次谐波的相位反转而成。

公开(公告)号：CN109952816B

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN201780063567.5

申请日：2017-10-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  东京计器株式会社

Inventor： 金子和史 ,  河田祐纪 ,  村井浩一 ,  牛窪隆之

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明的一实施方式的微波输出装置中，从方向性耦合器输出自微波产生部传播至输出部的行进波的一部分。在第1测定部中，利用二极管检波产生与行进波的一部分的功率对应的模拟信号，将该模拟信号转换为数字值。并且，选择与对微波输出装置中被指定的微波的设定频率及设定功率建立对应的一个以上的校正系数。通过将所选择的一个以上的校正系数与数字值相乘来确定测定值。