公开(公告)号：CN113448889B

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202110297921.9

申请日：2021-03-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高桥秀树 ,  小泉真 ,  富田尚宏 ,  加茂信一 ,  女部田雄总 ,  小川纯一

IPC: G06F13/10 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种控制系统、控制方法以及基板处理装置，能够恰当地对装置进行操作。控制对基板进行处理的基板处理装置的控制系统具有：第一终端和第二终端，所述第一终端和所述第二终端配置于与所述基板处理装置相同的场所，从用户处接受针对所述基板处理装置进行的控制的指示；第三终端，其配置于与所述基板处理装置不同的场所，从用户处接受针对所述基板处理装置进行的控制的指示；以及控制装置，其在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，将所述第三终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效。

公开(公告)号：CN113448889A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110297921.9

申请日：2021-03-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高桥秀树 ,  小泉真 ,  富田尚宏 ,  加茂信一 ,  女部田雄总 ,  小川纯一

IPC: G06F13/10 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种控制系统、控制方法以及基板处理装置，能够恰当地对装置进行操作。控制对基板进行处理的基板处理装置的控制系统具有：第一终端和第二终端，所述第一终端和所述第二终端配置于与所述基板处理装置相同的场所，从用户处接受针对所述基板处理装置进行的控制的指示；第三终端，其配置于与所述基板处理装置不同的场所，从用户处接受针对所述基板处理装置进行的控制的指示；以及控制装置，其在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，将所述第三终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效。