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发明公开
液处理装置和监视方法审中-公开

公开(公告)号：CN119742246A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202411300884.2

申请日：2024-09-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 水筱真一 , 印藤俊介 , 桾本裕一朗 , 丰泽聪大 , 石丸大辅 , 松竹勇贵 , 饭田重幸 , 羽山隆史

IPC: H01L21/67 , G03F7/16

Abstract: 本发明涉及液处理装置和监视方法。根据情况而以适合的方式监视多个喷嘴的状态。液处理装置具备：多个载物台，其分别载置基板；多个喷嘴，其共用于该多个载物台，用于向所述基板供给处理液；照相机，其共用于该多个喷嘴，用于监视该多个喷嘴的状态；以及拍摄条件变更部，其根据监视条件而变更所述照相机的拍摄条件。

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