公开(公告)号：CN110835751B

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN201910757828.4

申请日：2019-08-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 木元大寿 ,  古屋雄一 ,  挂川崇 ,  小森荣一 ,  藤田英明 ,  森宏将

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明提高一种阀装置、处理装置、以及控制方法，缩短随着清洁而产生的处理装置的停止期间。阀装置具备多个阀、壳体、热扩散部、加热部、供给部、以及控制部。多个阀控制向处理容器供给的多个处理气体的流通。壳体形成供处理气体流通的多个第1流路。热扩散部覆盖壳体，使壳体的热扩散。加热部覆盖由热扩散部覆盖着的壳体，隔着热扩散部对壳体进行加热。供给部向在壳体与热扩散部之间形成的第2流路供给制冷剂。控制部在对处理容器内的被处理体进行预定的处理之际控制加热部，以便将壳体加热成第1温度。另外，控制部在开始处理容器的清洁之前停止加热部对壳体的加热，控制供给部，以便向第2流路供给制冷剂。

公开(公告)号：CN110835751A

公开(公告)日：2020-02-25

申请号：CN201910757828.4

申请日：2019-08-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 木元大寿 ,  古屋雄一 ,  挂川崇 ,  小森荣一 ,  藤田英明 ,  森宏将

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明提高一种阀装置、处理装置、以及控制方法，缩短随着清洁而产生的处理装置的停止期间。阀装置具备多个阀、壳体、热扩散部、加热部、供给部、以及控制部。多个阀控制向处理容器供给的多个处理气体的流通。壳体形成供处理气体流通的多个第1流路。热扩散部覆盖壳体，使壳体的热扩散。加热部覆盖由热扩散部覆盖着的壳体，隔着热扩散部对壳体进行加热。供给部向在壳体与热扩散部之间形成的第2流路供给制冷剂。控制部在对处理容器内的被处理体进行预定的处理之际控制加热部，以便将壳体加热成第1温度。另外，控制部在开始处理容器的清洁之前停止加热部对壳体的加热，控制供给部，以便向第2流路供给制冷剂。