公开(公告)号：CN102856148B

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201210214836.2

申请日：2012-06-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐藤泉 ,  白谷勇雄 ,  浅利聪 ,  村上强

IPC: H01J37/32

CPC classification number: C23C16/44 ,  B05C11/00 ,  C23C16/00

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，具备：基板保持件，该基板保持件以将多个基板隔开间隔而重叠的方式对多个基板进行保持；反应管，该反应管用于容纳基板保持件；原料气体供给管，该原料气体供给管对被基板保持件保持的多个基板供给要成膜于多个基板上的薄膜的原料气体，其中基板保持件容纳于反应管；支承部，该支承部用于支承反应管；加热部，该加热部配置在反应管的外侧，对多个基板进行加热；保护管，该保护管在一端部固定于支承部，在基板保持件与反应管之间沿着多个基板的排列方向延伸，内部供温度测量部插入；突起部，该突起部设置在保护管的外表面与反应管的内表面的至少一方，在保护管的外表面与反应管的内表面之间形成空隙。

公开(公告)号：CN102856148A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210214836.2

申请日：2012-06-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐藤泉 ,  白谷勇雄 ,  浅利聪 ,  村上强

IPC: H01J37/32

CPC classification number: C23C16/44 ,  B05C11/00 ,  C23C16/00

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，具备：基板保持件，该基板保持件以将多个基板隔开间隔而重叠的方式对多个基板进行保持；反应管，该反应管用于容纳基板保持件；原料气体供给管，该原料气体供给管对被基板保持件保持的多个基板供给要成膜于多个基板上的薄膜的原料气体，其中基板保持件容纳于反应管；支承部，该支承部用于支承反应管；加热部，该加热部配置在反应管的外侧，对多个基板进行加热；保护管，该保护管在一端部固定于支承部，在基板保持件与反应管之间沿着多个基板的排列方向延伸，内部供温度测量部插入；突起部，该突起部设置在保护管的外表面与反应管的内表面的至少一方，在保护管的外表面与反应管的内表面之间形成空隙。