公开(公告)号：CN103205734B

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310015499.9

申请日：2013-01-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广瀬胜人 ,  宫泽俊男 ,  平田俊治 ,  田中利昌

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4551 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/52 ,  F16K37/00 ,  F16K37/0041 ,  G01M13/00 ,  H03K21/00 ,  H03K21/023

Abstract: 本发明涉及一种处理装置和阀门动作确认方法。本发明的目的在于，把握向处理容器内供给气体的气体供给系统中的阀门的动作状态，实时检测阀门的异常或提前避免。作为MC（401）的下位的控制单元的I/O端口（415）设置DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423），对腔室阀（37、47、57、67）的开闭次数进行计数。当DO开闭计数器（421）的计数值A、DI开闭计数器（423）的计数值B为A=B时，基于DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423）的腔室阀（37）的动作状态判断为正常，当A≠B时，判断为异常。

公开(公告)号：CN101646803A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200880009952.2

申请日：2008-03-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 原正道 ,  五味淳 ,  横山敦 ,  田中利昌 ,  前川伸次 ,  多贺敏

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种气体供给方法，其用于将原料气体供给至消耗区域，该原料气体通过对原料容器内的固体原料进行加热并使其气化而得到，该气体供给方法的特征在于，包括：工序(a)，使载气在与消耗区域连通的处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；工序(b)，对上述原料容器内的固体原料进行加热，产生原料气体；工序(c)，将与上述工序(a)相同流量的载气供给至上述原料容器内，使上述原料气体与该载气一起在上述处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；和工序(d)，根据在上述工序(a)中取得的压力测定值、在上述工序(c)中取得的压力测定值和载气流量，计算上述原料气体的流量。

公开(公告)号：CN103205734A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201310015499.9

申请日：2013-01-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广瀬胜人 ,  宫泽俊男 ,  平田俊治 ,  田中利昌

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4551 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/52 ,  F16K37/00 ,  F16K37/0041 ,  G01M13/00 ,  H03K21/00 ,  H03K21/023

Abstract: 本发明涉及一种处理装置和阀门动作确认方法。本发明的目的在于，把握向处理容器内供给气体的气体供给系统中的阀门的动作状态状态，实时检测阀门的异常或提前避免。作为MC（401）的下位的控制单元的I/O端口（415）设置DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423），对腔室阀（37、47、57、67）的开闭次数进行计数。当DO开闭计数器（421）的计数值A、DI开闭计数器（423）的计数值B为A=B时，基于DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423）的腔室阀（37）的动作状态判断为正常，当A≠B时，判断为异常。

公开(公告)号：CN101646803B

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200880009952.2

申请日：2008-03-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 原正道 ,  五味淳 ,  横山敦 ,  田中利昌 ,  前川伸次 ,  多贺敏

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种气体供给方法，其用于将原料气体供给至消耗区域，该原料气体通过对原料容器内的固体原料进行加热并使其气化而得到，该气体供给方法的特征在于，包括：工序(a)，使载气在与消耗区域连通的处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；工序(b)，对上述原料容器内的固体原料进行加热，产生原料气体；工序(c)，将与上述工序(a)相同流量的载气供给至上述原料容器内，使上述原料气体与该载气一起在上述处理气体供给路内流通，同时测定该处理气体供给路内的气体压力；和工序(d)，根据在上述工序(a)中取得的压力测定值、在上述工序(c)中取得的压力测定值和载气流量，计算上述原料气体的流量。

公开(公告)号：CN103225074B

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201310027600.2

申请日：2013-01-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广瀬胜人 ,  宫泽俊男 ,  平田俊治 ,  田中利昌

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561

Abstract: 本发明提供一种处理装置和处理状态的确认方法。掌握处理装置中的处理的状态，迅速检测处理的异常或将异常防患于未然。在作为MC（401）的下级的控制单元的I/O板（415）上设置最大值寄存器（441）和最小值寄存器（443），从与利用压力计（48A、58A）测量出的缓冲罐（48、58）中的压力相关的压力AI信号中，保存压力变化的最大值和最小值。通过将实际运行时所观测的缓冲罐（48、58）内的压力变化的最大值或最小值与预先测量出的正常运行时的缓冲罐（48、58）内的压力变化的最大值或最小值的数据进行比较，来进行处理的状态的判断。

公开(公告)号：CN103225074A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310027600.2

申请日：2013-01-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广瀬胜人 ,  宫泽俊男 ,  平田俊治 ,  田中利昌

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561

Abstract: 本发明提供一种处理装置和处理状态的确认方法。掌握处理装置中的处理的状态，迅速检测处理的异常或将异常防患于未然。在作为MC（401）的下级的控制单元的I/O板（415）上设置最大值寄存器（441）和最小值寄存器（443），从与利用压力计（48A、58A）测量出的缓冲罐（48、58）中的压力相关的压力AI信号中，保存压力变化的最大值和最小值。通过将实际运行时所观测的缓冲罐（48、58）内的压力变化的最大值或最小值与预先测量出的正常运行时的缓冲罐（48、58）内的压力变化的最大值或最小值的数据进行比较，来进行处理的状态的判断。